[实用新型]一种平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统

权利要求书

1.一种平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，其特征在于：包括上位机、PLC控制器、线阵相机、伺服驱动器、伺服电机和工作台；其中，上位机分别与PLC控制器和线阵相机信号连接；PLC控制器通过伺服驱动器与伺服电机信号连接；伺服电机与工作台连接；PLC控制器与线阵相机信号连接。

2.根据权利要求1所述的平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，其特征在于：所述的PLC控制器与线阵相机信号连接是指，PLC控制器的高速脉冲输出端口与线阵相机的相机采集同步端口信号连接。

3.根据权利要求1所述的平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，其特征在于：所述的PLC控制器通过伺服驱动器与伺服电机信号连接是指，PLC控制器与伺服驱动器双向信号连接，伺服驱动器的输出端与伺服电机的输入端信号连接。

4.根据权利要求3所述的平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，其特征在于：所述伺服电机的反馈端与伺服驱动器的输入端信号连接。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，其特征在于：所述上位机通过RS232接口与PLC控制器信号连接。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，其特征在于：所述工作台上设置有载物台。