[实用新型]一种平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统。

背景技术

在平板显示行业的电路表观缺陷检测中，由于基板尺寸大、电路刻蚀密度高、缺陷小至微米级、要求高检测速率等特点，通常使用基于线阵相机的AOI(自动光学检测)系统。当进行小尺寸基板离线检测时，为平衡成本与效率，一般采用单台线阵相机结合基板往复运动遍历扫描整张基板。目前在业界中，常用伺服电机编码器的反馈信号来同步线阵相机采集。该方式为被动控制，频繁启停必然会造成机械冲击并引起机械振动，使得在启停阶段线阵相机采集同步信号无法与速度变化相匹配，严重影响扫描图像两端的成像质量。因此需要设计出一种新的平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，以减轻启停冲击带来的图像畸变。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺点与不足，提供一种可避免由于机械惯性冲击而引起的图像畸变、结构简单、使用安全可靠的平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统。

为了达到上述目的，本实用新型通过下述技术方案予以实现：一种平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，其特征在于：包括上位机、PLC控制器、线阵相机、伺服驱动器、伺服电机和工作台；其中，上位机分别与PLC控制器和线阵相机信号连接；PLC控制器通过伺服驱动器与伺服电机信号连接；伺服电机与工作台连接；PLC控制器与线阵相机信号连接。

本实用新型线阵扫描系统中，将设有平板电路的基板放置在工作台上；PLC控制器在控制伺服驱动器来移动工作台的同时，输出同步信号控制线阵相机对平板电路进行扫描成像；线阵相机将图像信息传送到上位机进行分析处理以实现平板电路微观缺陷检测。与传统线阵扫描系统相比，本实用新型线阵扫描系统结构简单，使用安全可靠；线阵相机同步依据并不是伺服电机编码器的反馈信号，而是PLC控制器的同步信号；由于作为同步依据的信号来自于PLC控制器，而PLC控制器为主动控制器，因此可以有效预测工作台移动速度的变化量，避免由于机械惯性冲击而引起线阵相机扫描形成的图像畸变，有利于提高平板电路微观缺陷检测的准确程度。

进一步的方案是：所述的PLC控制器与线阵相机信号连接是指，PLC控制器的高速脉冲输出端口与线阵相机的相机采集同步端口信号连接。PLC控制器的高速脉冲输出端口输出的同步信号可有效控制线阵相机对平板电路进行扫描，可简化系统结构，降低系统成本。

所述的PLC控制器通过伺服驱动器与伺服电机信号连接是指，PLC控制器与伺服驱动器双向信号连接；伺服驱动器的输出端与伺服电机的输入端信号连接。

所述伺服电机的反馈端与伺服驱动器的输入端信号连接。伺服电机的编码器反馈脉冲信号作为反馈参考信号输入PLC控制器，可修正PLC控制器向线阵相机输出的同步信号。

所述上位机通过RS232接口与PLC控制器信号连接。

所述工作台上设置有载物台；基板放置在载物台上，便于操作，有利于检测效率。

与现有技术相比，本实用新型具有如下优点与有益效果：

1、本实用新型线阵扫描系统结构简单，使用安全可靠；可以有效预测工作台移动速度的变化量，避免由于机械惯性冲击而引起线阵相机扫描形成的图像畸变，有利于提高平板电路微观缺陷检测的准确程度；

2、本实用新型线阵扫描系统中，伺服电机的编码器反馈脉冲信号作为反馈参考信号输入PLC控制器，可修正PLC控制器向线阵相机输出的同步信号。

附图说明

图1是本实用新型线阵扫描系统的系统框图；

图2是实施例二线阵扫描系统的系统框图。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细的描述。

实施例一

本实施例平板电路微观缺陷检测线阵扫描系统，其系统框图如图1所示；包括上位机、PLC控制器、线阵相机、伺服驱动器、伺服电机和工作台。其中，上位机分别与PLC控制器和线阵相机信号连接。PLC控制器通过伺服驱动器与伺服电机信号连接；具体地说，PLC控制器与伺服驱动器双向信号连接；伺服驱动器的输出端与伺服电机的输入端信号连接。伺服电机与工作台连接。PLC控制器与线阵相机信号连接。