[实用新型]摆动装置及蚀刻机有效
| 申请号： | 201520667539.2 | 申请日： | 2015-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN205011839U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 郭江涛;冯子汉;陈王龙;尹达 | 申请（专利权）人： | 宁波比亚迪半导体有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种摆动装置及蚀刻机。该摆动装置包括载物机构、摆动机构和动力机构；摆动机构与载物机构相连；动力机构与摆动机构相连，用于控制摆动机构带动载物机构上下往复运动。该蚀刻机包括机台、设置在机台上的反应槽，还包括支架和摆动装置，支架设置在机台上，摆动装置放置在支架上，且位于反应槽上方。该摆动装置及蚀刻机可实现自动化摆动，提高产品生产效率和质量，降低人工成本，且可有效避免人工摆动过程中存在的安全隐患。 | ||
| 搜索关键词： | 摆动 装置 蚀刻 | ||
【主权项】：
一种摆动装置，所述摆动装置应用于蚀刻机，其特征在于，包括：载物机构(110)、摆动机构(120)和动力机构(130)；所述摆动机构(120)与所述载物机构(110)相连；所述动力机构(130)与所述摆动机构(120)相连，用于控制所述摆动机构(120)带动所述载物机构(110)上下往复运动。
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