[实用新型]摆动装置及蚀刻机

权利要求书

1.一种摆动装置，所述摆动装置应用于蚀刻机，其特征在于，包括：载物机构(110)、摆动机构(120)和动力机构(130)；所述摆动机构(120)与所述载物机构(110)相连；所述动力机构(130)与所述摆动机构(120)相连，用于控制所述摆动机构(120)带动所述载物机构(110)上下往复运动。

2.根据权利要求1所述的摆动装置，其特征在于，所述摆动机构(120)包括曲柄滑块机构(121)；所述曲柄滑块机构(121)包括导轨(1211)、滑块(1212)、第一连杆(1213)、第二连杆(1214)和第三连杆(1215)；

所述导轨(1211)沿上下方向设置；

所述滑块(1212)与所述第三连杆(1215)的一端相连，并与所述导轨(1211)相配合；

所述第一连杆(1213)的一端与所述动力机构(130)固定相连，另一端与所述第二连杆(1214)的一端可转动相连；

所述第二连杆(1214)的另一端与所述第三连杆(1215)的一端可转动相连；

所述第三连杆(1215)的另一端与所述载物机构(110)固定相连。

3.根据权利要求2所述的摆动装置，其特征在于，所述摆动装置还包括箱体(140)；所述动力机构(130)和所述曲柄滑块机构(121)设置在所述箱体(140)内；所述导轨(1211)固定在所述箱体(140)内侧；所述第三连杆(1215)与所述载物机构(110)相连的一端伸出所述箱体(140)。

4.根据权利要求3所述的摆动装置，其特征在于，所述箱体(140)外设有耐腐蚀保护层。

5.根据权利要求2所述的摆动装置，其特征在于，所述载物机构(110)包括载物篮(111)；所述载物篮(111)包括方形篮体(1111)、连接件(1112)和支撑件(1113)；

所述连接件(1112)连接所述方形篮体(1111)和所述第三连杆(1215)；

所述支撑件(1113)一端固定在所述方形篮体(1111)上，另一端固定在所述连接件(1112)上。

6.根据权利要求5所述的摆动装置，其特征在于，所述方形篮体(1111)、连接件(1112)和支撑件(1113)形成三角形稳定结构。

7.根据权利要求5所述的摆动装置，其特征在于，所述载物篮(111)外设有耐腐蚀保护层。

8.根据权利要求2所述的摆动装置，其特征在于，所述第一连杆(1213)和所述第二连杆(1214)通过第一销钉(1216)相连并可绕所述第一销钉(1216)转动，所述第二连杆(1214)和所述第三连杆(1215)通过第二销钉(1217)相连并可绕所述第二销钉(1217)转动。

9.一种蚀刻机，包括机台(200)和设置在机台(200)上的反应槽(300)；其特征在于，还包括支架(400)和权利要求1-8任一项所述的摆动装置(100)；所述支架(400)设置在所述机台(200)上；所述摆动装置(100)放置在所述支架(400)上，且所述载物机构(110)部分进入所述反应槽(300)内。

10.根据权利要求9所述的蚀刻机，其特征在于，所述支架(400)包括两个支撑臂(410)和至少两个支撑杆(420)；所述两个支撑臂(410)平行相对设置在所述机台(200)上；所述至少两个支撑杆(420)平行间隔设置在所述支撑臂(410)上；所述摆动机构(120)和动力机构(130)放置在所述至少两个支撑杆(420)上。