[实用新型]摆动装置及蚀刻机

说明书

技术领域

本实用新型涉及蚀刻机设备领域，尤其涉及一种摆动装置及蚀刻机。

背景技术

蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术，在半导体和线路板制作过程中，蚀刻是不可或缺的技术。蚀刻机是用于对材料进行蚀刻的专用设备。以镍银蚀刻机(Ni&Ag-Etch)为例，其作用是将晶圆(wafer)表面的镍银合金通过化学腐蚀的方法去除。在大批量的生产过程中，将25片晶圆放置在卡塞(cassette)中，晶圆之间间隙很小，并且随着反应的进行反应液(硝酸和冰醋酸)的浓度会发生相应变化，这就导致晶圆上某些部位产生蚀刻不干净或者不均匀的问题，需要重新返工，甚至晶圆报废。目前生产中常用的解决方案是用人工摆动卡塞的方式，以1Hz～2Hz的频率在7分钟的蚀刻周期内连续摆动，才能达到相对理想的蚀刻效果。

人工摆动的方式有很多缺点。首先，一套晶圆加卡塞的重量大约为3Kg，让员工长时间摆动会导致劳动强度的大大增加，进而影响工作效率。其次，蚀刻过程中的反应液具有强腐蚀性，人工摆动的过程中可能会溅起酸液，对员工的人身安全产生危害。与此同时，人工摆动的过程中由于其摆动轨迹的偶然性，可能会导致晶圆与反应槽发生碰撞，进而损坏晶圆导致报废。总而言之，人工摆动的方式不仅影响生产效率和产品质量，而且对员工人身安全也具有危害。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对当前蚀刻机操作过程中采用人工摆动卡塞方式，导致产品效率低、质量无法保证，且存在安全隐患的问题，提供一种可自动化摆动的摆动装置及蚀刻机，提高产品生产质量和效率，降低产品不良率，同时可避免安全隐患。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种摆动装置，所述摆动装置应用于蚀刻机，包括：载物机构、摆动机构和动力机构；所述摆动机构与所述载物机构相连；所述动力机构与所述摆动机构相连，用于控制所述摆动机构带动所述载物机构上下往复运动。

优选地，所述摆动机构包括曲柄滑块机构；所述曲柄滑块机构包括导轨、滑块、第一连杆、第二连杆和第三连杆；

所述导轨沿上下方向设置；

所述滑块与所述第三连杆的一端相连，并与所述导轨相配合；

所述第一连杆的一端与所述动力机构固定相连，另一端与所述第二连杆的一端可转动相连；

所述第三连杆的另一端与所述载物机构固定相连。

优选地，所述摆动装置还包括箱体；所述动力机构和所述曲柄滑块机构设置在所述箱体内；所述导轨固定在所述箱体内侧；所述第三连杆所述载物机构固定相连的一端伸出所述箱体。

优选地，所述箱体外设有耐腐蚀保护层。

优选地，所述载物机构包括载物篮；所述载物篮包括方形篮体、连接件和支撑件；

所述连接件连接所述方形篮体和所述第三连杆；

所述支撑件一端固定在所述方形篮体上，另一端固定在所述连接件上。

所述方形篮体、连接件和支撑件形成三角形稳定结构。

优选地，所述载物篮外设有耐腐蚀保护层。

优选地，所述第一连杆和所述第二连杆通过第一销钉相连并可绕所述第一销钉转动，所述第二连杆和所述第三连杆通过第二销钉相连并可绕所述第二销钉转动。

本实用新型还提供一种蚀刻机，包括机台和设置在机台上的反应槽；还包括支架和前述摆动装置；所述支架设置在所述机台上；所述摆动装置放置在所述支架上，且所述载物机构部分进入所述反应槽内。

优选地，所述支架包括两个支撑臂和至少两个支撑杆；所述两个支撑臂平行相对设置在所述机台上；所述至少两个支撑杆平行间隔设置在所述支撑臂上；所述摆动机构和动力机构放置在所述至少两个支撑杆上。

本实用新型与现有技术相比具有如下优点：本实用新型所提供的摆动装置，通过动力机构控制摆动机构带动载物机构上下往复运动，以实现自动化摆动，提高产品生产效率和质量，降低人工成本，且可有效避免人工摆动过程中存在的安全隐患。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是实施例1中摆动装置的一状态下的结构示意图。

图2是图1中A部分的爆炸图。

图3是实施例2中摆动装置的另一状态下的结构示意图。

图4是图3中B部分的爆炸图。

图5是实施例2中蚀刻机的结构示意图。