[实用新型]一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵

摘要

本实用新型涉及流体泵技术领域，具体是一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵，超低温水汽捕集泵安装在真空镀膜系统的中，超低温水汽捕集泵内设有五级制冷系统、化霜系统和缓冲系统，五级制冷系统从入口端由前至后依次通过铜质制管道串联连接布置压缩机、高压端波纹管、水冷交换器、干燥过滤器、制冷剂管道、相变及热交换装置、制冷电磁阀、制冷手阀、蒸发器、回路手阀、低压端波纹管，在相变及热交换装置中还设有压力控制器、电源和电磁阀。本实用新型可对储气罐进行缓冲，有效避免由于设备高压端压力过高会导致压缩机温度变高，负载变高，耗电量增加带来的负面效应。长期使用下载在能耗，设备寿命上均有不小的优化，同时也可提高储气罐使用率。

主权项

一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵，包括压缩机、高压端波纹管、低压端波纹管、水冷交换器、油分离器、干燥过滤器、相变及热交换装置、制冷剂管道、毛细管、制冷电磁阀、化霜电磁阀、缓冲电磁阀、制冷手阀、化霜手阀、回路手阀、储气罐、自动控制电路系统、蒸发器，其特征在于所述的超低温水汽捕集泵安装在真空镀膜系统的中，超低温水汽捕集泵内设有五级制冷系统、化霜系统和缓冲系统，所述的五级制冷系统从入口端由前至后依次通过铜质制管道串联连接布置压缩机、高压端波纹管、水冷交换器、干燥过滤器、制冷剂管道、相变及热交换装置、制冷电磁阀、制冷手阀、蒸发器、回路手阀、低压端波纹管；所述化霜系统从入口端由前至后依次通过铜质制管道串联连接布置压缩机、高压端波纹管、油分离器、化霜电磁阀、化霜手阀、蒸发器、回路手阀、低压端波纹管；所述的缓冲系统从入口端由前至后依次通过铜质制管道串联连接布置相变及热交换装置、缓冲电磁阀、储气罐、毛细管，所述的蒸发器安装在真空镀膜系统的腔体以及扩散泵内；在相变及热交换装置中还设有压力控制器、电源和电磁阀。