[实用新型]一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵

权利要求书

1.一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵，包括压缩机、高压端波纹管、低压端波纹管、水冷交换器、油分离器、干燥过滤器、相变及热交换装置、制冷剂管道、毛细管、制冷电磁阀、化霜电磁阀、缓冲电磁阀、制冷手阀、化霜手阀、回路手阀、储气罐、自动控制电路系统、蒸发器，其特征在于所述的超低温水汽捕集泵安装在真空镀膜系统的中，超低温水汽捕集泵内设有五级制冷系统、化霜系统和缓冲系统，所述的五级制冷系统从入口端由前至后依次通过铜质制管道串联连接布置压缩机、高压端波纹管、水冷交换器、干燥过滤器、制冷剂管道、相变及热交换装置、制冷电磁阀、制冷手阀、蒸发器、回路手阀、低压端波纹管；所述化霜系统从入口端由前至后依次通过铜质制管道串联连接布置压缩机、高压端波纹管、油分离器、化霜电磁阀、化霜手阀、蒸发器、回路手阀、低压端波纹管；所述的缓冲系统从入口端由前至后依次通过铜质制管道串联连接布置相变及热交换装置、缓冲电磁阀、储气罐、毛细管，所述的蒸发器安装在真空镀膜系统的腔体以及扩散泵内；在相变及热交换装置中还设有压力控制器、电源和电磁阀。

2.如权利要求1所述的一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵，其特征在于所述的相变及热交换装置包括相分离器和热交换机，其中相分离器包括第一级相分离器、第二级相分离器、第三级相分离器，所述的热交换器包括第一级热交换器、第二级热交换器、第三级热交换器、第四级热交换器和第五级热交换器。

3.如权利要求2所述的一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵，其特征在于第一级热交换器通过管道依次串联连接第一级相分离器、第二级热交换器、第二级相分离器、第三级热交换器、第三级相分离器、第四级热交换器和第五级热交换器；相邻两级热交换器通过回路管串接，第五级热交换器通过管道串接第四级热交换器，第四级热交换器通过管道串接第三级热交换器，第三级热交换器通过管道串接第二级热交换器，第二级热交换器通过管道串接第一级热交换器；第二级热交换器与第三级热交换器的连接管道上通过毛细管连接第一级相分离器，第三级热交换器与第四级热交换器的连接管道上通过毛细管连接第二级相分离器，第四级热交换器与第五级热交换器的连接管道上通过毛细管连接第三级相分离器，所述的第五级热交换器通过毛细管分别与回路手阀以及制冷电磁阀连接。

4.如权利要求2所述的一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵，其特征在于所述的压力控制器、电源和电磁阀设在第三级热交换器与第三级相分离器的连接管道上。

5.如权利要求2所述的一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵，其特征在于所述的第一热交换器和压缩机的连接管道上设有安全阀。

6.如权利要求1所述的一种用于储气罐的超低温水汽捕集泵，其特征在于所述的油分离器包括第一油分离器和第二油分离器。