[实用新型]单晶炉真空系统用自动清洁过滤器有效
| 申请号： | 201520612307.7 | 申请日： | 2015-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN204816042U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 焦二强;司鹏辉;韩子萌;彭套;王松涛;孙金召 | 申请（专利权）人： | 麦斯克电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D46/24 | 分类号： | B01D46/24;B01D46/42;C30B35/00 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 罗民健 |
| 地址： | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，包括置于单晶炉与真空泵之间的过滤罐、固定在过滤罐中的过滤筒以及能够沿过滤筒圆周方向转动的清扫毛刷，清扫毛刷能够在圆周转动过程中清洁过滤筒表面。过滤罐中设有过滤筒以及能够沿过滤筒圆周方向转动的清扫毛刷，清扫毛刷能够在圆周转动过程中清洁过滤筒表面，用于阻止硅单晶拉制过程中产生的气体颗粒进入真空泵造成真空泵损坏；同时，自动清洁，既节约了人力，又避免有毒有害物质对人员的伤害。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 真空 系统 自动 清洁 过滤器 | ||
【主权项】：
单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：包括置于单晶炉与真空泵之间的过滤罐（1）、固定在过滤罐（1）中的过滤筒（2）以及能够沿过滤筒（2）圆周方向转动的清扫毛刷（3），清扫毛刷（3）能够在圆周转动过程中清洁过滤筒（2）表面。
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