[实用新型]单晶炉真空系统用自动清洁过滤器

权利要求书

1.单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：包括置于单晶炉与真空泵之间的过滤罐（1）、固定在过滤罐（1）中的过滤筒（2）以及能够沿过滤筒（2）圆周方向转动的清扫毛刷（3），清扫毛刷（3）能够在圆周转动过程中清洁过滤筒（2）表面。

2.根据权利要求1所述的单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：所述的过滤罐（1）包括过滤罐体（4）和固定在过滤罐体（4）上端开口处的盖体（5），过滤罐体（4）内部设有啮合设置的主动齿轮（7）和从动齿轮（8），盖体（5）上设有用于带动主动齿轮（7）转动的电机（6），其中，从动齿轮（8）的中心轴线与过滤筒（2）的中心轴线相互重合，所述的清扫毛刷（3）垂直固定在从动齿轮（8）的齿轮面上。

3.根据权利要求2所述的单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：盖体（5）通过卡子法兰连接机构（9）与过滤罐体（4）固定连接，且盖体（5）下端面与过滤罐体（4）上端面之间采用O型密封圈进行密封。

4.根据权利要求2所述的单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：所述的盖体（5）上设有用于与真空泵连接的排气口（10），过滤罐体（4）圆周壁面上设有用于与单晶炉连接的进气口（11），且过滤罐体（4）的底部设有排污管（12），排污管（12）上设有排污阀门（13）。

5.根据权利要求2所述的单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：所述的过滤罐体（4）内设有固定在盖体（5）下端面上的支撑框架（14），支撑框架（14）底部设有带有内螺纹孔的固定块（15），固定块（15）中套设有螺杆（16），螺杆（16）的上端设有水平托盘（17），所述的过滤筒（2）夹设有水平托盘（17）和盖体（5）之间。

6.根据权利要求5所述的单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：位于固定块（15）与水平托盘（17）之间的螺杆（16）上还套设有轴套（18），清扫毛刷（3）的下端延伸后与轴套（18）连接，轴套（18）可随清扫毛刷（3）作圆周运动。

7.根据权利要求6所述的单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：所述的清扫毛刷（3）为两个，两个清扫毛刷（3）在水平面上互成180°。

8.根据权利要求5所述的单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，其特征在于：过滤筒（2）上端面与盖体（5）下端面、过滤筒（2）下端面与水平托盘（17）上端面之间均采用O型密封圈进行密封。