[实用新型]单晶炉真空系统用自动清洁过滤器

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅单晶技术领域，具体涉及一种单晶炉真空系统用自动清洁过滤器。

背景技术

目前，单晶硅的生产主要采用切克劳斯基法，整个单晶硅的生长过程处于密闭且有惰性气体保护的炉室内。由于硅单晶直拉过程中熔体温度很高，熔融的硅会和石英坩埚发生反应生成大量的SiO等挥发物，SiO从溶液中蒸发出来并且由氩气流从结晶区中冲刷带走，继而由真空泵将含有SiO的氩气抽出炉室。为了防止SiO等气体颗粒进入泵腔而造成真空泵的损坏，一般在炉室与真空泵之间加装过滤器，过滤器中的滤网滤除掉氩气流中的SiO等挥发物。等待拉晶结束后，由人工打开过滤器，取出过滤网清扫后，再将过滤网装入过滤器。清扫过程不仅繁琐，而且由于硅单晶拉制过程中形成的SiO等挥发物遇到空气发生氧化极易燃烧或者爆炸，特别是生产低电阻率的硅单晶时，往往要掺入大量的锑、磷、砷等易挥发且毒害性大的掺杂剂，不管是燃烧爆炸，还是有毒有害物质的接触，都会对操作工人的安全造成伤害。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，用以防止硅单晶拉制过程中产生的气体颗粒进入真空泵造成真空泵损坏。

本实用新型为实现上述目的所采用的技术方案为：单晶炉真空系统用自动清洁过滤器，包括置于单晶炉与真空泵之间的过滤罐、固定在过滤罐中的过滤筒以及能够沿过滤筒圆周方向转动的清扫毛刷，清扫毛刷能够在圆周转动过程中清洁过滤筒表面。

其中，过滤罐包括过滤罐体和固定在过滤罐体上端开口处的盖体，过滤罐体内部设有啮合设置的主动齿轮和从动齿轮，盖体上设有用于带动主动齿轮转动的电机，其中，从动齿轮的中心轴线与过滤筒的中心轴线相互重合，所述的清扫毛刷垂直固定在从动齿轮的齿轮面上。

进一步的，盖体通过卡子法兰连接机构与过滤罐体固定连接，且盖体下端面与过滤罐体上端面之间采用O型密封圈进行密封。

其中，盖体上设有用于与真空泵连接的排气口，过滤罐体圆周壁面上设有用于与单晶炉连接的进气口，且过滤罐体的底部设有排污管，排污管上设有排污阀门。

其中，所述的过滤罐体内设有固定在盖体下端面上的支撑框架，支撑框架底部设有带有内螺纹孔的固定块，固定块中套设有螺杆，螺杆的上端设有水平托盘，所述的过滤筒夹设有水平托盘和盖体之间。

进一步的，位于固定块与水平托盘之间的螺杆上还套设有轴套，清扫毛刷的下端延伸后与轴套连接，轴套可随清扫毛刷作圆周运动。

优选的，所述的清扫毛刷为两个，两个清扫毛刷在水平面上互成180°。两个清扫毛刷下方延伸引至共用一个轴套，与支撑框架相连接，轴套用来固定清扫毛刷，并支撑清扫毛刷绕支撑框架做圆周运动，清洁过滤网。

其中，过滤筒上端面与盖体下端面、过滤筒下端面与水平托盘上端面之间均采用O型密封圈进行密封。

有益效果：1、过滤罐中设有过滤筒以及能够沿过滤筒圆周方向转动的清扫毛刷，清扫毛刷能够在圆周转动过程中清洁过滤筒表面，用于阻止硅单晶拉制过程中产生的气体颗粒进入真空泵造成真空泵损坏；同时，自动清洁，既节约了人力，又避免有毒有害物质对人员的伤害。2、本实用新型通过电机和齿轮副带动清洁毛刷在过滤筒外周面转动，在硅单晶拉制结束后，可以自动并模仿人工清扫附着在过滤网上SiO等挥发物，不仅减轻了人工劳动强度，而且解决了SiO等挥发物遇到空气燃烧或者爆炸的危险，避免了锑、磷、砷等有毒有害掺杂剂对工人造成接触伤害。3、过滤罐体内设有支撑框架，其中设置的螺杆一方面能够固定过滤筒，另一方面能够通过轴套限制清洁毛刷的运动轨迹，使清洁毛刷跟随从动齿轮旋转时保持垂直且能够与过滤筒外周面紧密接触。

附图说明

图1为过滤器的整体示意图；

图2为图1的内部视图。

附图标记：1、过滤罐，2、过滤筒，3、清扫毛刷，4、过滤罐体，5、盖体，6、电机，7、主动齿轮，8、从动齿轮，9、卡子法兰连接机构，10、排气口，11、进气口，12、排污管，13、排污阀门，14、支撑框架，15、固定块，16、螺杆，17、水平托盘，18、轴套，19、法兰短节。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型的单晶炉真空系统用自动清洁过滤器作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本实用新型并能予以实施。