[实用新型]一种真空溅射机有效
| 申请号： | 201520596242.1 | 申请日： | 2015-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN204825033U | 公开（公告）日： | 2015-12-02 |
| 发明（设计）人： | 林楚兴 | 申请（专利权）人： | 广东光耀玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 汕头市南粤专利商标事务所(特殊普通合伙) 44301 | 代理人： | 余飞峰 |
| 地址： | 515000 广东省汕头*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及玻璃加工设备技术领域，尤其涉及一种真空溅射机，采用如下技术方案：包括真空腔室、抽真空装置、玻璃基材传动辊、阳极和阴极靶材、供气系统、挡板机构，阴极靶材设置在真空腔室内，在位于阴极靶材下方设置用于驱动玻璃基材行进的传动辊，阴极靶材与玻璃基材行进方向垂直设置，挡板机构设在两个传动辊之间，供气系统包括设置在真空腔室外的第一供气机构及第二供气机构，第一供气机构由第一导气管连通设置在真空腔室内第一排气口，第二供气机构由第二导气管连通设置在真空腔室内第二排气口，本实用新型的优点在于：由于设置供气系统，可以通过供气系统通入工艺气体，从而可以根据需要调节工艺气体的通入量继而调节金属镀膜的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 溅射 | ||
【主权项】：
一种真空溅射机，包括真空腔室(1)、抽真空装置(8)、玻璃基材(1A)传动辊(2)、阳极(12)和阴极靶材(4)、供气系统、挡板机构(3)，其特征在于：阴极靶材(4)设置在真空腔室(1)内，在位于阴极靶材(4)下方设置用于驱动玻璃基材(1A)行进的传动辊(2)，阴极靶材(4)与玻璃基材(1A)行进方向垂直设置，挡板机构(3)设在两个传动辊(2)之间，供气系统包括设置在真空腔室(1)外的第一供气机构(5)及第二供气机构(6)，第一供气机构(5)由第一导气管(52)连通设置在真空腔室(1)内第一排气口(53)，第二供气机构(6)由第二导气管(62)连通设置在真空腔室(1)内第二排气口(63)。
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