[实用新型]一种真空溅射机

权利要求书

1.一种真空溅射机，包括真空腔室(1)、抽真空装置(8)、玻璃基材(1A)传动辊(2)、阳极(12)和阴极靶材(4)、供气系统、挡板机构(3)，其特征在于：阴极靶材(4)设置在真空腔室(1)内，在位于阴极靶材(4)下方设置用于驱动玻璃基材(1A)行进的传动辊(2)，阴极靶材(4)与玻璃基材(1A)行进方向垂直设置，挡板机构(3)设在两个传动辊(2)之间，供气系统包括设置在真空腔室(1)外的第一供气机构(5)及第二供气机构(6)，第一供气机构(5)由第一导气管(52)连通设置在真空腔室(1)内第一排气口(53)，第二供气机构(6)由第二导气管(62)连通设置在真空腔室(1)内第二排气口(63)。

2.根据权利要求1所述的一种真空溅射机，其特征在于：还设有第三导气管(7)，第三导气管(7)一端连通位于真空腔室(1)外的第一供气机构(5)，第三导气管(7)的另一端连通位于真空腔室(1)外的第二供气机构(6)。

3.根据权利要求2所述的一种真空溅射机，其特征在于：在位于第三导气管(7)上设置有气体流量控制阀(71)。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种真空溅射机，其特征在于：所述第一排气口(53)或第二排气口(63)位于真空腔室(1)腔壁上方。

5.根据权利要求1或2或3所述的一种真空溅射机，其特征在于：所述的传动辊(2)外层具有绝缘胶垫(21)。

6.根据权利要求1或2或3所述的一种真空溅射机，其特征在于：抽真空装置(8)通过至少两条的抽空管道(81)连通真空腔室(1)。

7.根据权利要求1或2或3所述的一种真空溅射机，其特征在于：所述的阴极靶材(4)可转动的设置在真空腔室(1)内。