[实用新型]一种真空溅射机

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃加工设备技术领域，尤其涉及一种真空溅射机。

背景技术

由于镀膜玻璃具有良好的吸热保温性能，其具有高雅大方，美观，且深受建筑师及用户的欢迎，目前的镀膜方法有化学镀膜、电浮法镀膜、真空气相沉积镀膜，由于时代的发展，也开始采用真空阴极镀膜的方式对玻璃进行镀膜，且镀膜效果均匀，镀膜效果比传统工艺大幅提高，然而，目前的镀膜玻璃的镀膜效果包括厚度的控制仍然不太理想，需研发出一种镀膜效果更好且经济效益更佳的真空溅射镀膜机。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种用于镀膜且镀膜效果更佳的真空溅射机。

为达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案：一种真空溅射机，包括真空腔室、抽真空装置、玻璃基材传动辊、阳极和阴极靶材、供气系统、挡板机构，其特征在于：阴极靶材设置在真空腔室内，在位于阴极靶材下方设置用于驱动玻璃基材行进的传动辊，阴极靶材与玻璃基材行进方向垂直设置，挡板机构设在两个传动辊之间，供气系统包括设置在真空腔室外的第一供气机构及第二供气机构，第一供气机构由第一导气管连通设置在真空腔室内第一排气口，第二供气机构由第二导气管连通设置在真空腔室内第二排气口。

进一步的，还设有第三导气管，第三导气管一端连通位于真空腔室外的第一供气机构，第三导气管的另一端连通位于真空腔室外的第二供气机构。

进一步的，在位于第三导气管上设置有气体流量控制阀。

进一步的，所述第一排气口或第二排气口位于真空腔室的腔壁上方。

优选的，所述的传动辊外层具有绝缘胶垫。

优选的，抽真空装置通过至少两条的抽空管道连通真空腔室。

优选的，所述的阴极靶材可转动的设置在真空腔室内。

本实用新型的优点在于：在该真空溅射机在对玻璃进行金属镀膜时，由于设置供气系统，可以通过供气系统通入工艺气体，从而可以根据需要调节工艺气体的通入量继而调节金属镀膜的厚度。

附图说明：

附图1为实施例1的一种真空溅射机的立体结构图；

附图2为实施例2的一种真空溅射机的立体结构图；

附图标记：1-真空腔室、11-阳极电源、12-阳极、2-传动辊、21-绝缘胶垫、3-挡板机构、4-阴极靶材、41-阴极电源、5-第一供气机构、51-第一进气口、52-第一导气管、53-第一排气口、6-第二供气机构、61-第二进气口、62-第二导气管、63-第二排气口、7-第三导气管、71-气体流量控制阀、8-抽真空装置、81-抽空管道、1A-玻璃基材。

具体实施方式：

实施例1：参照图1-2，一种真空溅射机，包括真空腔室1、抽真空装置8、用于传动玻璃基材传动辊2、阳极12和阴极靶材4、供气系统、挡板机构3。

阴极靶材4设置在真空腔室1内，具体的阳极12与设置在真空腔室1外的阳极电源12电连接，阴极靶材4与设置在真空腔室1外的阴极电源41电连接。

在位于阴极靶材4下方设置用于驱动玻璃基材行进的传动辊2，阴极靶材4与玻璃基材1A在传动辊2传动行进方向下垂直设置，玻璃基材1A的待加工膜面可相对于阴极靶材4设置，从而可以实现阴极靶材4可以扫描玻璃基材1A的整个待加工的膜面。

优选的，在玻璃基材1A与阴极靶材4之间可以设置图形挡板，可以按照图形挡板进行相应图形的镀膜。

挡板机构3设在两个传动辊2之间，挡板机构3用于遮挡真空腔室1的底部，以及传动辊2的侧部，可在溅镀过程中，防止阴极溅出的原子沉积在传动辊2上或者真空腔室1的底部，避免沉积物污染阳极12或者传动辊2等物件，由此保证玻璃的镀膜效率与良率。

供气系统包括设置在真空腔室1外的第一供气机构5及第二供气机构6，第一供气机构5由第一导气管52连通设置在真空腔室1内第一排气口53，第二供气机构6由第二导气管62连通设置在真空腔室1内第二排气口63。

在该真空溅射机在对玻璃进行金属镀膜时，为了调节金属镀膜的厚度，通过上述第一供气机构5及第二供气机构6的第一进气口51、第二进气口61分别通入工艺气体并通过第一排气口53及第二排气口63进入到真空腔室内。

为了避免第一进气口51、第二进气口61故障或为了实现第一供气机构5及第二供气机构6内气体的混合，还设有第三导气管7，第三导气管7一端连通位于真空腔室1外的第一供气机构5，第三导气管7的另一端连通位于真空腔室1外的第二供气机构6，在当第一进气口51或第二进气口61故障时，则可以在另一个没有故障的进气口通入相应的气体。