[实用新型]一种防滴液刻蚀槽盖板

摘要

本实用新型涉及一种防滴液刻蚀槽盖板，包括中空的盖板、加热器，盖板内被导热板分割成上下两层，盖板底层设有加热器，盖板底层填充导热硅脂，导热板顶面设有隔板，隔板将盖板顶层分隔成多个相通的型腔，隔板一端设有进口，隔板另一端设有出口，出口与刻蚀槽连通，出口设有进气温度传感器，盖板底面为拱形，盖板底面设有盖板传感器。本实用新型在盖板底部设置加热器，利于保持盖板较高温度，防止水汽在盖板底部凝结；盖板内设置导热板和隔板便于将水汽中热量交换给盖板，节约能源，导热硅脂便于将热量更好的传递到盖板底部；盖板传感器和进气传感器进行竖直比对，便于控制加热器工作，节约能源且有效防止水滴凝结，拱形盖板便于引流水滴。

主权项

一种防滴液刻蚀槽盖板，包括中空的盖板、设置在所述盖板内的加热器，其特征在于，所述盖板内被导热板分割成上下两层，所述盖板底层设有加热器，所述盖板底层填充有导热硅脂，所述导热板顶面设有竖直的隔板，所述隔板将所述盖板顶层分隔成多个相通的型腔，所述隔板一端设有与所述型腔连通的进口，所述隔板另一端设有与所述型腔连通的出口，所述出口与刻蚀槽连通，所述出口设有进气温度传感器，所述盖板底面为拱形，所述盖板底面设有盖板传感器。