[实用新型]一种防滴液刻蚀槽盖板

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片刻蚀设备技术领域，特别涉及一种防滴液刻蚀槽盖板。

背景技术

太阳能电池又称为“太阳能芯片”或“光电池”，“是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片。它只要被光照到，瞬间就可输出电压及在有回路的情况下产生电流。在物理学上称为太阳能光伏，简称光伏，其核心部件是太阳能电池片，其制造过程分为制绒-扩散-刻蚀-PECVD镀膜-丝网印刷-测试分选。其中，刻蚀工序的作用去掉硅片背面和硅片侧面的PN结，达到正面与背面绝缘的目的。目前，RENAin-line式结构的设备是一种常用的湿法刻蚀设备。他是在HF/HNO3体系中，利用表面张力和毛吸作用力去除边缘和背面的PN结，正面未粘液，而使电池正面和背面绝缘。这种设备基本结构为：刻蚀槽-水喷淋槽-碱槽-水喷淋槽-去PSG槽-水喷淋槽-吹干。该设备在使用过程中表现出许多优异的性能。然而，目前RENA刻蚀设备在生产应用中，常会出现刻蚀槽盖板出现水汽凝结的现象。凝结的液滴会滴落在正在生产流通的硅片表面上，液滴滴落后在硅片上，发生腐蚀反应，导致硅片的外观不良甚至片子的PN结被破坏，片子必须返工造成产量下降和成本浪费。刻蚀盖板上凝结的水汽主要来源于刻蚀槽后的水喷淋槽。水在喷淋过程中会形成大量的水汽，尤其是在气温较高的夏季，水的温度要远远高于生产车间的温度，水的蒸汽分压也较大，大量的水蒸汽会进入到刻蚀槽中。而槽体盖板的温度是受车间的温度控制的，会低于进入槽体内的水蒸气的温度，当水蒸气遇到温度较低的盖板时就发生凝结。因此，盖板容易发生水蒸气凝结，这一问题一直困扰着相关工艺人员。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种防滴液刻蚀槽盖板。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种防滴液刻蚀槽盖板，包括中空的盖板、设置在所述盖板内的加热器，所述盖板内被导热板分割成上下两层，所述盖板底层设有加热器，所述盖板底层填充有导热硅脂，所述导热板顶面设有竖直的隔板，所述隔板将所述盖板顶层分隔成多个相通的型腔，所述隔板一端设有与所述型腔连通的进口，所述隔板另一端设有与所述型腔连通的出口，所述出口与刻蚀槽连通，所述出口设有进气温度传感器，所述盖板底面为拱形，所述盖板底面设有盖板传感器。

上述设计中在盖板底部设置加热器，利于保持盖板较高温度，防止水汽在盖板底部凝结；所述盖板内设置导热板和隔板便于将水汽中热量交换给盖板，节约能源，所述导热硅脂便于将热量更好的传递到盖板底部；所述盖板传感器和进气传感器进行竖直比对，便于控制加热器工作，节约能源且有效防止水滴凝结，所述拱形的盖板底面便于将凝结的水滴引流到盖板边缘，防止水滴滴落到硅片上。

作为本设计的进一步改进，所述盖板传感器至少两个且均匀分布在所述盖板底面，温度检测更加精准。

作为本设计的进一步改进，所述隔板为传热材质，便于换热。

作为本设计的进一步改进，所述盖板底层密闭，有效防止导热硅脂以及加热器腐蚀。

作为本设计的进一步改进，所述盖板顶层的顶面设有保温棉，防止热量散失，节约能源。

作为本设计的进一步改进，所述盖板底面边缘设有与刻蚀槽贴合的贴合面，所述贴合面内侧设有沿刻蚀槽内壁延伸的引流板，所述引流板便于将凝结的水滴引流进刻蚀槽。

作为本设计的进一步改进，所述盖板上设有贯穿所述盖板的观察窗，所述观察窗底部为球面，所述观察窗为实体透明材质，便于观察刻蚀槽内硅片刻蚀情况，不需要打开盖板观察。

本实用新型的有益效果是：本实用新型在盖板底部设置加热器，利于保持盖板较高温度，防止水汽在盖板底部凝结；所述盖板内设置导热板和隔板便于将水汽中热量交换给盖板，节约能源，所述导热硅脂便于将热量更好的传递到盖板底部；所述盖板传感器和进气传感器进行竖直比对，便于控制加热器工作，节约能源且有效防止水滴凝结，所述拱形的盖板底面便于将凝结的水滴引流到盖板边缘，防止水滴滴落到硅片上。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的整体结构示意图。

图2是本实用新型的局部结构示意图。