[实用新型]一种防滴液刻蚀槽盖板

权利要求书

1.一种防滴液刻蚀槽盖板，包括中空的盖板、设置在所述盖板内的加热器，其特征在于，所述盖板内被导热板分割成上下两层，所述盖板底层设有加热器，所述盖板底层填充有导热硅脂，所述导热板顶面设有竖直的隔板，所述隔板将所述盖板顶层分隔成多个相通的型腔，所述隔板一端设有与所述型腔连通的进口，所述隔板另一端设有与所述型腔连通的出口，所述出口与刻蚀槽连通，所述出口设有进气温度传感器，所述盖板底面为拱形，所述盖板底面设有盖板传感器。

2.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板传感器至少两个且均匀分布在所述盖板底面。

3.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述隔板为传热材质。

4.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板底层密闭。

5.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板顶层的顶面设有保温棉。

6.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板底面边缘设有与刻蚀槽贴合的贴合面，所述贴合面内侧设有沿刻蚀槽内壁延伸的引流板。

7.根据权利要求1所述的一种防滴液刻蚀槽盖板，其特征是，所述盖板上设有贯穿所述盖板的观察窗，所述观察窗底部为球面，所述观察窗为实体透明材质。