[实用新型]一种固晶机送料机构及其自动固晶机有效
| 申请号： | 201520482484.8 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN204857668U | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 罗琳;唐文轩;曾智军 | 申请（专利权）人： | 深圳市微恒自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/50 | 分类号： | H01L21/50;H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518111 广东省深圳市龙岗区平湖街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种固晶机送料机构及其自动固晶机。其中，所述送料机构包括运动导向机构和支架取放单元；所述支架取放单元包括：驱动装置、用于取放支架的钩爪机构和真空吸取机构；所述驱动装置分别与钩爪机构和真空吸取机构连接，驱动钩爪机构及真空吸取机构运动；所述支架取放单元沿所述运动导向机构运动。采用了钩爪抓取和真空吸取相结合的两种支架抓取方式，并且两种抓取方式均能够依据实际情况作出调整，使送料机构具备对于不同支架良好的适应能力。而且，整个送料机构结构简单，便于进行维护和调试，有效的缩短了更换支架时的调试时间，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固晶机送料 机构 及其 自动 固晶机 | ||
【主权项】：
一种固晶机送料机构，其特征在于，所述送料机构包括运动导向机构和支架取放单元；所述支架取放单元包括：驱动装置、用于取放支架的钩爪机构和真空吸取机构；所述驱动装置分别与钩爪机构和真空吸取机构连接，驱动钩爪机构及真空吸取机构运动；所述支架取放单元沿所述运动导向机构的导向轨迹运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
