[实用新型]一种硅片清洗花篮夹具

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗花篮夹具，包括花篮，花篮内盛放有硅片，还包括左夹板、右夹板和机架主体，左、右夹板之间设置有驱动装置，左、右夹板上均安装有转动法兰和推动法兰，且机架主体的两端通过销轴与转动法兰铰接，驱动装置的两端通过销轴与推动法兰铰接；机架主体的上方连接有起吊安装架，机架主体的中间连接有限位杆支架，限位杆支架的上、下两端分别设有上、下限位杆，上、下限位杆均贯穿限位杆支架的本体。本实用新型设计科学，结构简单合理，通过驱动装置伸长或缩短，带动左夹板和右夹板运动实现其闭合或张开，从而实现硅片清洗花篮机械自动化吊装工作，与现有人工操作相比，节省了人力资源，减轻了工人的劳动强度。

主权项

一种硅片清洗花篮夹具，包括花篮（1），花篮（1）内盛放有硅片（2），其特征在于：还包括左夹板（3）、右夹板（13）和机架主体（5），所述左夹板（3）和右夹板（13）之间设置有驱动装置（14），所述左夹板（3）和右夹板（13）上均安装有转动法兰（4）和推动法兰（7），且所述机架主体（5）的两端通过销轴与所述转动法兰（4）铰接，所述驱动装置（14）的两端通过销轴与所述推动法兰（7）铰接；所述机架主体（5）的上方连接有起吊安装架（8），机架主体（5）的中间连接有限位杆支架（9），所述限位杆支架（9）的上、下两端分别设有上限位杆（10）和下限位杆（15），所述上限位杆（10）和下限位杆（15）均贯穿限位杆支架（9）的本体。