[实用新型]一种硅片清洗花篮夹具

权利要求书

1.一种硅片清洗花篮夹具，包括花篮（1），花篮（1）内盛放有硅片（2），其特征在于：还包括左夹板（3）、右夹板（13）和机架主体（5），所述左夹板（3）和右夹板（13）之间设置有驱动装置（14），所述左夹板（3）和右夹板（13）上均安装有转动法兰（4）和推动法兰（7），且所述机架主体（5）的两端通过销轴与所述转动法兰（4）铰接，所述驱动装置（14）的两端通过销轴与所述推动法兰（7）铰接；所述机架主体（5）的上方连接有起吊安装架（8），机架主体（5）的中间连接有限位杆支架（9），所述限位杆支架（9）的上、下两端分别设有上限位杆（10）和下限位杆（15），所述上限位杆（10）和下限位杆（15）均贯穿限位杆支架（9）的本体。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮夹具，其特征在于：所述上限位杆（10）和下限位杆（15）的两端均分别设置有长度调节装置。

3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗花篮夹具，其特征在于：所述长度调节装置包括锁紧螺母（11）和调节螺钉（12），所述调节螺钉（12）连接在所述上限位杆（10）和下限位杆（15）的两端，所述锁紧螺母（11）连接在调节螺钉（12）上。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮夹具，其特征在于：所述左夹板（3）和右夹板（13）对称布置，左夹板（3）和右夹板（13）的下端折弯呈“L”状结构；所述花篮（1）的顶端两侧边弯折呈倒“L”状，工作时，所述花篮（1）上的倒“L”状搭接在所述左夹板（3）和右夹板（13）的“L”状结构上。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮夹具，其特征在于：所述驱动装置（14）为气缸。