[实用新型]一种基片载具有效
| 申请号： | 201520433153.5 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN204803400U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 乐仲;孙福河;闻永祥;曹永辉 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 柳兴坤;冯丽欣 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基片载具，用于蒸发沉积系统中，对基片进行装载，所述基片载具包括滚轮、支撑杆和支撑基座，所述滚轮和支撑基座分别连接在所述支撑杆的两端，所述支撑基座用于放置基片，所述滚轮用于在轨道上滚动。本实用新型提供的基片载具，包括滚轮、支撑杆和支撑基座，能够方便地对基片进行装载；可以实现对不同大小的基片进行沉积，同时还可调整基片的沉积倾斜角；并且，本申请中的基片载具能够方便地放置基片，对基片固定牢固稳定，非常利于对基片的沉积的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基片载具 | ||
【主权项】：
一种基片载具，用于蒸发沉积系统中，对基片进行装载，其特征在于，所述基片载具包括滚轮、支撑杆和支撑基座，所述滚轮和支撑基座分别连接在所述支撑杆的两端，所述支撑基座用于放置基片，所述滚轮用于在轨道上滚动。
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