[实用新型]一种基片载具有效
申请号: | 201520433153.5 | 申请日: | 2015-06-19 |
公开(公告)号: | CN204803400U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 乐仲;孙福河;闻永祥;曹永辉 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰集成电路有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 柳兴坤;冯丽欣 |
地址: | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基片载具 | ||
1.一种基片载具,用于蒸发沉积系统中,对基片进行装载,其特征在于,所述基片载具包括滚轮、支撑杆和支撑基座,所述滚轮和支撑基座分别连接在所述支撑杆的两端,所述支撑基座用于放置基片,所述滚轮用于在轨道上滚动。
2.根据权利要求1所述的基片载具,其特征在于,所述支撑杆与所述支撑基座上放置的基片所在平面垂直。
3.根据权利要求1或2所述的基片载具,其特征在于,所述滚轮、支撑基座和支撑杆之间均为固定连接。
4.根据权利要求1所述的基片载具,其特征在于,所述滚轮和/或所述支撑基座设置成包括大小不同的可替换的一系列。
5.根据权利要求1所述的基片载具,其特征在于,所述支撑杆的长度可以调节。
6.根据权利要求5所述的基片载具,其特征在于,所述支撑杆包括第一支撑杆和第二支撑杆,所述第一支撑杆上设置有外螺纹或者内螺纹,所述第二支撑杆上设置有相对应的内螺纹或者外螺纹,通过调整所述内螺纹和外螺纹的配合来调整所述支撑杆的长度。
7.根据权利要求5所述的基片载具,其特征在于,所述支撑杆包括第一支撑杆和第二支撑杆,所述第一支撑杆的一端套装在第二支撑杆的一端,通过调整所述第一支撑杆套装到所述第二支撑杆内的长度来调整所述支撑杆的长度。
8.根据权利要求1所述的基片载具,其特征在于,所述支撑基座包括圆环和支架,所述支架包括多个分支,多个分支的一端相交,其交点位于所述圆环的纵向中心线上,并与所述圆环的圆心相距一定距离,该相交的端部与所述支撑杆的端部进行连接,多个分支的另外一端固定到所述圆环上。
9.根据权利要求8所述的基片载具,其特征在于,所述支架的多个分支在圆环的周向上呈不均匀分布,在其中的两个分支之间形成有较大的开口。
10.根据权利要求8所述的基片载具,其特征在于,在所述圆环上设置有基片固定部,该基片固定部在所述圆环的内缘沿所述圆环的径向向内延伸形成。
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