[实用新型]干涉测量实验系统

摘要

本实用新型涉及一种干涉测量实验系统，由激光发射器(1)、耦合器(2)、扩束镜(3)、空间光调器(4)、毛玻璃(5)、分光镜(6)、成像透镜(7)和CCD(10)构成，按照光路方向依次设置激光发射器(1)、耦合器(2)、扩束镜(3)、空间光调器(4)、毛玻璃(5)、分光镜(6)和成像透镜(7)，在成像透镜(7)后侧设置有被测镜(8)，在分光镜(6)与激光发射器(1)发射激光方向垂直的方向还设置有CCD(10)。本实用新型提供的干涉测量实验系统利用单模激光器和空间光调制器构成可调扩展光源，实现了利用光源能量分布参数改变干涉仪空间相干性的功能，使干涉仪的空间相干长度调节成为可能。

主权项

一种干涉测量实验系统，其特征在于：干涉测量实验系统由激光发射器(1)、耦合器(2)、扩束镜(3)、空间光调器(4)、毛玻璃(5)、分光镜(6)、成像透镜(7)和CCD(10)构成，按照光路方向依次设置激光发射器(1)、耦合器(2)、扩束镜(3)、空间光调器(4)、毛玻璃(5)、分光镜(6)和成像透镜(7)，在成像透镜(7)后侧设置有被测镜(8)，在分光镜(6)与激光发射器(1)发射激光方向垂直的方向还设置有CCD(10)。