[实用新型]干涉测量实验系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种基于扩展光源的干涉测量实验系统，属于干涉仪领域。

背景技术

干涉现象是光的波动性的最严格、最有效的证明，这个现象是由于两束或多束光的重叠，使能量体密度在空间上规则分布的结果。光干涉测量方法作为检测高精密光学元件和系统的最传统、有效手段之一，已大量的应用于科学研究与工业生产之中。在实际使用过程中，现阶段干涉仪大多采用激光器作为照明光源，而激光器具有极强的时间和空间相干性，因此，在干涉检测过程中，并不需要考虑干涉腔长的限制，就可以使干涉条纹具有良好的对比度，并且随着电子与计算机技术的发展，产生的位相干涉检测技术，使测量极限由传统的λ/10提高了一个数量级以上，且具有很高的重复性。然而，正是由于激光具有的高度相干性，它虽然降低了干涉仪的使用难度，但由于光学干涉的极端灵敏性，在光学元件加工过程中产生的微观坑点等缺陷与元件表面污染所产生的散射光会发生相干叠加，在干涉图中会出现许多牛眼环或靶心等相干噪声，它们在一定程度上改变了干涉图的空间结构，从而引起了被测面面型或波前形状的测量误差。

现阶段的商用移相干涉仪，往往受到相干噪声的严重影响，干涉测试的精度很难进一步得到提高，并且检测到的光学元件面型信息往往丢失了部分高频段的面型误差，无法满足对高功率固体激光驱动装置中的大口径光学元件的检测要求。正因如此，抑制系统的相干噪声，提高干涉系统的信噪比，扩展它的测量空间频率范围，消除非测量面杂散光干扰，一直是研制大口径高分辨率干涉系统的核心难题之一。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。

本实用新型提供了一种干涉测量实验系统，由激光发射器、耦合器、扩束镜、空间光调器、毛玻璃、分光镜、成像透镜和CCD构成，按照光路方向依次设置激光发射器、耦合器、扩束镜、空间光调器、毛玻璃、分光镜和成像透镜，在成像透镜后侧设置有被测镜，在分光镜与激光发射器发射激光方向垂直的方向还设置有CCD。

优选的，上述毛玻璃为旋转毛玻璃，配设有一微型直流电机。

优选的，上述激光发射器为He-Ne激光器，出射的光束波长为632.8nm。

优选的，上述耦合器由多个透镜构成。

优选的，上述分光镜和CCD之间设置有准直镜。

本实用新型提供的干涉测量实验系统利用单模激光器和空间光调制器构成可调扩展光源，实现了利用光源能量分布参数改变干涉仪空间相干性的功能，使干涉仪的空间相干长度调节成为可能。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

附图标记：1-激光发射器；2-耦合器；3-扩束镜；4-空间光调器；5-毛玻璃；6-分光镜；7-成像透镜；8-被测镜；9-准直镜；10-CCD。

具体实施方式

为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1所示，本实用新型提供的干涉测量实验系统，由激光发射器1、耦合器2、扩束镜3、空间光调器4、毛玻璃5、分光镜6、成像透镜7和CCD10构成，按照光路方向依次设置激光发射器1、耦合器2、扩束镜3、空间光调器4、毛玻璃5、分光镜6和成像透镜7，在成像透镜7后侧设置有被测镜8，在分光镜6与激光发射器1发射激光方向垂直的方向还设置有CCD10。

其中，毛玻璃5为旋转毛玻璃，配设有一微型直流电机。激光发射器1为He-Ne激光器，出射的光束波长为632.8nm。耦合器2由多个透镜构成。分光镜6和CCD10之间设置有准直镜9。

激光发射器1发出激光经过耦合器2后出射的光波为锥形会聚光波，当前后移动激光发射器1与扩束镜距旋转毛玻璃5的距离时，打在毛玻璃5上的光斑大小就会发生变化。随着毛玻璃5的高速旋转，即可使其上是被照明区域形成非相干(或部分相干)的圆形光源。

本实用新型提供的干涉测量实验系统利用单模激光器和空间光调制器构成可调扩展光源，实现了利用光源能量分布参数改变干涉仪空间相干性的功能，使干涉仪的空间相干长度调节成为可能。

以上所述之具体实施方式为本实用新型的较佳实施方式，并非以此限定本实用新型的具体实施范围，本实用新型的范围包括并不限于本具体实施方式，凡依照本实用新型之形状、结构所作的等效变化均在本实用新型的保护范围内。