[实用新型]干涉测量实验系统

权利要求书

1.一种干涉测量实验系统，其特征在于：干涉测量实验系统由激光发射器(1)、耦合器(2)、扩束镜(3)、空间光调器(4)、毛玻璃(5)、分光镜(6)、成像透镜(7)和CCD(10)构成，按照光路方向依次设置激光发射器(1)、耦合器(2)、扩束镜(3)、空间光调器(4)、毛玻璃(5)、分光镜(6)和成像透镜(7)，在成像透镜(7)后侧设置有被测镜(8)，在分光镜(6)与激光发射器(1)发射激光方向垂直的方向还设置有CCD(10)。

2.根据权利要求1所述的干涉测量实验系统，其特征在于：所述毛玻璃(5)为旋转毛玻璃，配设有一微型直流电机。

3.根据权利要求1所述的干涉测量实验系统，其特征在于：所述激光发射器(1)为He-Ne激光器，出射的光束波长为632.8nm。

4.根据权利要求1所述的干涉测量实验系统，其特征在于：所述耦合器(2)由多个透镜构成。

5.根据权利要求1所述的干涉测量实验系统，其特征在于：所述分光镜(6)和CCD(10)之间设置有准直镜(9)。