[实用新型]一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置有效
| 申请号： | 201520372143.5 | 申请日： | 2015-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN204642877U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 张志海;付东东;孙志达;曹瑞丰 | 申请（专利权）人： | 黑龙江汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | B65G7/00 | 分类号： | B65G7/00;B65G43/00;B65G69/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 王大为 |
| 地址： | 155113 黑龙江省*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置，它涉及一种保护装置。本实用新型解决了现有手动操作过程中PECVD炉体前门内表面极易被反应箱运载车撞伤的问题。本实用新型包括反应箱运载车和缓冲垫；反应箱运载车包括运载车架、两条导轨和至少三个车轮；运载车架的底部安装有至少三个车轮，运载车架的上部安装有并列设置的两条导轨，两条导轨的与PECVD装置炉体前门内表面相接触的部位各安装有一个缓冲垫。本实用新型适用于对PECVD炉体前门内表面进行防撞伤保护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有效 规避 pecvd 装置 前门 表面 撞伤 | ||
【主权项】：
一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置，其特征在于，它包括反应箱运载车(1)和缓冲垫(2)；反应箱运载车(1)包括运载车架(1‑1)、两条导轨(1‑2)和至少三个车轮(1‑3)；运载车架(1‑1)的底部安装有至少三个车轮(1‑3)，运载车架(1‑1)的上部安装有并列设置的两条导轨(1‑2)，两条导轨(1‑2)的与PECVD装置炉体前门内表面相接触的部位各安装有一个缓冲垫(2)。
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