[实用新型]一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置

权利要求书

1.一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置，其特征在于，它包括反应箱运载车(1)和缓冲垫(2)；反应箱运载车(1)包括运载车架(1-1)、两条导轨(1-2)和至少三个车轮(1-3)；运载车架(1-1)的底部安装有至少三个车轮(1-3)，运载车架(1-1)的上部安装有并列设置的两条导轨(1-2)，两条导轨(1-2)的与PECVD装置炉体前门内表面相接触的部位各安装有一个缓冲垫(2)。

2.根据权利要求1所述的一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置，其特征在于，所述缓冲垫(2)为等厚度的缓冲垫，缓冲垫(2)的厚度为3-5mm。

3.根据权利要求2所述的一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置，其特征在于，缓冲垫(2)的厚度为4mm。

4.根据权利要求1、2或3所述的一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置，其特征在于，所述缓冲垫(2)为硅胶垫或氟橡胶垫。

5.根据权利要求4所述的一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置，其特征在于，两条导轨(1-2)为长方体形导轨。

6.根据权利要求5所述的一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置，其特征在于，所述缓冲垫(2)的形状为[形缓冲垫，缓冲垫(2)的开口端插装在导轨(1-2)的与PECVD装置炉体前门内表面相接触的部位。