[实用新型]一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种保护装置，特别涉及一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置。

背景技术

PECVD(等离子体增强化学气相沉积)技术是近几年来极受重视的制备介质膜的先进工艺技术。在PECVD的生产操作过程中，反应箱必须通过运载车移载至PECVD装置炉体内。由于反应箱和运载车的自重总计超过1.5t，在手动移载过程中具有很大的惯性，操作人员很难使反应箱运载车及时停止，致使反应箱运载车的导轨经常撞击到PECVD装置炉体前门内表面，导致PECVD装置炉体的真空度和工艺效率降低，并对人员安全造成很大威胁。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有操作过程中PECVD装置炉体前门内表面极易被反应箱运载车撞伤的问题，提供一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置。

本实用新型为了解决上述技术问题采取的技术方案是：本实用新型的一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置包括反应箱运载车和缓冲垫；反应箱运载车包括运载车架、两条导轨和至少三个车轮；运载车架的底部安装有至少三个车轮，运载车架的上部安装有并列设置的两条导轨，两条导轨的与PECVD装置炉体前门内表面相接触的部位各安装有一个缓冲垫。

本实用新型的有益效果是：

1、由冲量定理：

Ft＝m(v_t-v₀)

其中F为反应箱运载车与PECVD装置炉体前门内表面之间的撞击力；t为撞击时间；m为反应箱运载车总重；v_t为反应箱运载车运行速度，可视为定值；v₀为反应箱运载车初始速度，v₀＝0。可知，F与t成反比，即延长撞击时间可降低撞击力。反应箱运载车导轨前端的缓冲垫可起到有效的缓冲作用，延长撞击时间，达到降低撞击力的目的；

2、本实用新型结构简单，易于安装和更换，成本低，可有效降低实际手动操作过程中反应箱运载车对PECVD装置炉体前门内表面的撞击力，提高PECVD装置的使用寿命和使用安全性。

附图说明

图1是本实用新型的主视结构示意图，图2是缓冲垫与导轨的连接示意图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式的一种有效规避PECVD装置炉体前门内表面撞伤的装置包括反应箱运载车1和缓冲垫2；反应箱运载车1包括运载车架1-1、两条导轨1-2和至少三个车轮1-3；运载车架1-1的底部安装有至少三个车轮1-3，运载车架1-1的上部安装有并列设置的两条导轨1-2，两条导轨1-2的与PECVD装置炉体前门内表面相接触的部位各安装有一个缓冲垫2。

具体实施方式二：结合图2说明本实施方式，本实施方式的缓冲垫2为等厚度的缓冲垫，缓冲垫2的厚度为3-5mm，满足设计和使用要求。其它组成及连接关系与具体实施方式一相同。

具体实施方式三：结合图2说明本实施方式，本实施方式的缓冲垫2的厚度为4mm。此厚度既可以起到有效的缓冲作用，又可以避免由于缓冲层过厚导致运载车与腔室导轨之间产生过大的间隙，满足设计和使用要求。其它组成及连接关系与具体实施方式二相同。

具体实施方式四：结合图2说明本实施方式，本实施方式的缓冲垫2为硅胶垫或氟橡胶垫。这两种材质不仅具有良好的柔韧性，还具有优良的耐高温性能，可起到良好的缓冲效果，满足设计和使用要求。其它组成及连接关系与具体实施方式一、二或三相同。

具体实施方式五：结合图1说明本实施方式，本实施方式的两条导轨1-2为长方体形导轨，满足设计和使用要求。其它组成及连接关系与具体实施方式四相同。

具体实施方式六：结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式的缓冲垫2的形状为[形缓冲垫，缓冲垫2的开口端插装在导轨1-2的与PECVD装置炉体前门内表面相接触的部位。

本实施方式中缓冲垫2通过螺栓插装在导轨1-2的与PECVD装置炉体前门内表面相接触的部位。其它组成及连接关系与具体实施方式五相同。