[实用新型]一种观察窗结构有效
| 申请号： | 201520340533.4 | 申请日： | 2015-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN204661821U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 王俊锋;陈凯 | 申请（专利权）人： | 东莞市瑞鼎纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 罗伟平;潘俊达 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于PVD镀膜设备技术领域，特别涉及一种观察窗结构，它安装于PVD镀膜设备中，其包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。本实用新型的扭动装置是通过磁力间接扭动实现挡板的旋转，不需在观察窗的管道开孔，从而杜绝真空漏气的隐患，提高了操作的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 观察窗 结构 | ||
【主权项】：
一种观察窗结构，安装于PVD镀膜设备中，其特征在于：包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。
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