[实用新型]一种观察窗结构

说明书

技术领域

本实用新型属于PVD镀膜设备技术领域，特别涉及一种观察窗结构。

背景技术

PVD镀膜设备中都会在镀膜腔体侧壁设置观察窗，目的是在镀膜时观察腔体内部的实时状况，观察窗主要由三部分组成：1、观察窗玻璃，一般为石英玻璃，作用是方便真空密封，并且透明能透过它观察腔体内部状况。2、挡板，一般为不锈钢薄板，既挡住腔体内温度辐射到观察窗玻璃上，避免因为温度辐射导致石英玻璃温度升高而炸裂；又挡住所镀膜的材料溅射到玻璃上进而降低玻璃的透明度，避免因玻璃被镀上膜之后不透明，从而失去观察的功能。3、扭动装置，此装置连接观察窗的挡板，在需要观察时开启挡板，在不需要观察时关闭挡板。

但是，在现有的观察窗设置中，扭动装置通常是在观察窗管道侧壁开一个孔，然后通过骨架油封来密封真空，直接扭动转轴带动挡板旋转，这种设置有两种弊端：一、由于腔体内部和外界有通孔的存在，所以就存在真空漏气的可能；二、真空室对观察窗的挡板的长期热辐射，热量会通过转轴传递到骨架油封上，加速骨架油封的老化，也可能造成真空漏气，使镀膜存在风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：针对现有技术的不足，而提供一种观察窗结构，该结构设置的扭动装置是通过磁力间接扭动实现挡板的旋转，不需在观察窗的管道开孔，从而杜绝真空漏气的隐患。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种观察窗结构，它安装于PVD镀膜设备中，其包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。

作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，所述扭动装置通过转轴与所述挡板转动连接。

作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，所述扭动装置包括具有中空腔的扭动本体、开设于所述扭动本体的驱动磁铁槽及安装于所述驱动磁铁槽内的驱动磁铁块，所述中空腔为圆形结构，所述驱动磁铁槽的数量设置为四个，四个所述驱动磁铁槽均匀分布于所述中空腔的周围。

作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，所述转轴包括挡板连接部及与所述挡板连接部连接为一体的磁力受驱部，所述磁力受驱部具有受驱动铁槽，所述受驱动铁槽的数量设置为四个，每个所述受驱动铁槽内均安装有受驱动块。

作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，四个所述受驱动铁槽分别对应于四个所述驱动磁铁槽。

作为本实用新型所述的观察窗结构的一种改进，所述挡板的形状设置为圆形结构。

所述观察窗玻璃通过密封垫圈安装于所述观察窗法兰内。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供的观察窗结构安装于PVD镀膜设备中，其包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。本实用新型的扭动装置是通过磁力间接扭动实现挡板的旋转，不需在观察窗的管道开孔，从而杜绝真空漏气的隐患，提高了操作的安全性。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型安装在PVD镀膜设备中的结构示意图。

图3为本实用新型中扭动装置的结构示意图。

图4为本实用新型中驱动磁铁块的结构示意图。

图5为本实用新型中转轴的结构示意图。

图6为本实用新型中磁力受驱部的结构示意图。

图7为本实用新型中受驱动块的结构示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施方式和说明书附图，对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。