[实用新型]一种观察窗结构

权利要求书

1.一种观察窗结构，安装于PVD镀膜设备中，其特征在于：包括观察窗法兰、观察窗玻璃、挡板和扭动装置，所述观察窗玻璃安装于所述观察窗法兰内，所述扭动装置转动连接于所述挡板，所述挡板位于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体内，所述挡板对应于所述观察窗玻璃，所述扭动装置设置于所述PVD镀膜设备的镀膜腔体外，所述扭动装置设置为磁力式扭动装置。

2.根据权利要求1所述的观察窗结构，其特征在于：所述扭动装置通过转轴与所述挡板转动连接。

3.根据权利要求2所述的观察窗结构，其特征在于：所述扭动装置包括具有中空腔的扭动本体、开设于所述扭动本体的驱动磁铁槽及安装于所述驱动磁铁槽内的驱动磁铁块，所述中空腔为圆形结构，所述驱动磁铁槽的数量设置为四个，四个所述驱动磁铁槽均匀分布于所述中空腔的周围。

4.根据权利要求3所述的观察窗结构，其特征在于：所述转轴包括挡板连接部及与所述挡板连接部连接为一体的磁力受驱部，所述磁力受驱部具有受驱动铁槽，所述受驱动铁槽的数量设置为四个，每个所述受驱动铁槽内均安装有受驱动块。

5.根据权利要求4所述的观察窗结构，其特征在于：四个所述受驱动铁槽分别对应于四个所述驱动磁铁槽。

6.根据权利要求1所述的观察窗结构，其特征在于：所述挡板的形状设置为圆形结构。

7.根据权利要求1所述的观察窗结构，其特征在于：所述观察窗玻璃通过密封垫圈安装于所述观察窗法兰内。