[实用新型]晶圆存储货架有效
| 申请号： | 201520334078.7 | 申请日： | 2015-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN204675080U | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 张学良;高海林 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B65D61/00 | 分类号： | B65D61/00;B65D25/10;B65D85/86 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种晶圆存储货架，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。此晶圆存储货架通过止挡部的可移动设计，能够承载不同大小的晶圆盒，由于可转动因而方便操作人员查看晶圆盒的各个面。相比于现有技术更为方便，也保证了晶圆盒的安全。 | ||
| 搜索关键词： | 存储 货架 | ||
【主权项】：
一种晶圆存储货架，其特征在于，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。
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