[实用新型]晶圆存储货架

权利要求书

1.一种晶圆存储货架，其特征在于，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。

2.如权利要求1所述的晶圆存储货架，其特征在于，还包括两个相互垂直的滑轨，所述承载部固定于两个所述滑轨的交叉处，所述止挡部可在所述滑轨上滑动，以靠近或远离所述晶圆盒。

3.如权利要求2所述的晶圆存储货架，其特征在于，所述止挡部上具有第一锁固件，用于在所述止挡部滑动至所述滑轨的特定位置时锁固所述止挡部。

4.如权利要求2所述的晶圆存储货架，其特征在于，每个所述滑轨由两根平行的滑竿构成，两滑竿的距离不大于所述止挡部的宽度。

5.如权利要求4所述的晶圆存储货架，其特征在于，还包括设置于所述止挡部两侧的固定件，所述止挡部通过所述固定件滑动连接两根所述滑竿。

6.如权利要求4所述的晶圆存储货架，其特征在于，所述承载部位于4根所述滑竿围成的矩形上。

7.如权利要求2所述的晶圆存储货架，其特征在于，还包括环绕所述承载部和所述止挡部的圆形导轨，所述滑轨于所述圆形导轨的直径方向连接所述圆形导轨的两侧，且能围绕所述圆形导轨的中心转动。

8.如权利要求7所述的晶圆存储货架，其特征在于，所述圆形导轨呈中空的管状，所述滑轨的两端伸入并通过球状端点卡合于所述管状内部。

9.如权利要求8所述的晶圆存储货架，其特征在于，所述滑轨的两端包含第二锁固件，用于在所述滑轨转动至所述圆形导轨的特定位置时锁固所述滑轨。

10.如权利要求9所述的晶圆存储货架，其特征在于，所述第二锁固件位于所述球状端点上，通过卡住所述球状端点与所述圆形导轨之间的孔隙以锁固所述滑竿。