[实用新型]晶圆存储货架

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种晶圆存储货架。

背景技术

晶圆(Wafer)是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。晶圆按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英寸、15英寸、16英寸、……20英寸以上等)。晶圆越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但对材料技术和生产技术的要求更高。

一般会将晶圆存储于晶圆盒中，再使用货架进行晶圆盒存储，此货架对产线中的晶圆存储足够使用，但对于晶圆成品仓库中做好真空包装的晶圆盒存储，却有如下不足：

1.货架上的用于消防安全的孔洞设计，使人员在操作时容易对真空包装袋造成摩擦损坏，从而导致真空泄露；

2.成品仓库中的晶圆数量巨大，且很多要存储很长时间，因此在操作人员需要盘点及搬运晶圆盒，晶圆盒在货架上频繁的摩擦甚至不当的操作很容易造成真空包装的损坏。

对于真空包装损坏的晶圆，如发现及时，则需要重新进行包装，浪费人力物力；如发现不及时，则对晶圆的良品率产生严重影响。

实用新型内容

为解决现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种晶圆存储货架，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。

可选的，所述晶圆存储货架还包括两个相互垂直的滑轨，所述承载部固定于两个所述滑轨的交叉处，所述止挡部可在所述滑轨上滑动，以靠近或远离所述晶圆盒。

可选的，所述止挡部上具有第一锁固件，用于在所述止挡部滑动至所述滑轨的特定位置时锁固所述止挡部。

可选的，每个所述滑轨由两根平行的滑竿构成，两滑竿的距离不大于所述止挡部的宽度。

可选的，所述晶圆存储货架还包括设置于所述止挡部两侧的固定件，所述止挡部通过所述固定件滑动连接两根所述滑竿。

可选的，所述承载部位于4根所述滑竿围成的矩形上。

可选的，所述晶圆存储货架还包括环绕所述承载部和所述止挡部的圆形导轨，所述滑轨于所述圆形导轨的直径方向连接所述圆形导轨的两侧，且能围绕所述圆形导轨的中心转动。

可选的，所述圆形导轨呈中空的管状，所述滑轨的两端伸入并通过球状端点卡合于所述管状内部。

可选的，所述滑轨的两端包含第二锁固件，用于在所述滑轨转动至所述圆形导轨的特定位置时锁固所述滑轨。

可选的，所述第二锁固件位于所述球状端点上，通过卡住所述球状端点与所述圆形导轨之间的孔隙以锁固所述滑竿。

本实用新型提供了一种货架，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。此晶圆存储货架通过止挡部的可移动设计，能够承载不同大小的晶圆盒，由于可转动而方便操作人员查看晶圆盒的各个面。相比于现有技术更为方便，也保证了晶圆盒的安全。

附图说明

图1为本实用新型一实施例所述晶圆存储货架的俯视图；

图2为本实用新型一实施例所述晶圆存储货架中止挡部的结构示意图；

图3为本实用新型一实施例所述晶圆存储货架中圆形导轨及球状端点的剖面图；

图4为本实用新型一实施例所述晶圆存储货架承载晶圆盒的立体图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

如图1所示，本实用新型提供了一种晶圆存储货架，包括承载部10以及位于所述承载部10四周的止挡部20，止挡部20用以从四个方向固定晶圆盒。

在本实施例中，晶圆存储货架还包括两个相互垂直的滑轨，所述承载部10固定于两个所述滑轨的交叉处，所述止挡部20可在所述滑轨上滑动，以靠近或远离所述晶圆盒(图1中箭头1方向)。每个所述滑轨由两根平行的滑竿30构成，两滑竿30的距离不大于所述止挡部20的宽度，止挡部20的两端分别可滑动固定于所述两根滑竿30上。

具体的，每两根平行滑竿30的距离可以等于止挡部20的宽度，也可以小于止挡部20的宽度，使得止挡部20的两端能够分别连接到所述两根滑竿30上。