[实用新型]一种石英基板底厚快速测量装置有效
申请号: | 201520298019.9 | 申请日: | 2015-05-08 |
公开(公告)号: | CN204594387U | 公开(公告)日: | 2015-08-26 |
发明(设计)人: | 虞王君 | 申请(专利权)人: | 虞王君 |
主分类号: | G01B5/06 | 分类号: | G01B5/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 311804 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座和与所述底座固定连接的固定架,所述固定架通过支架固定连接有百分表,所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头,所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片,所述支撑垫片上放置有待测石英基板。本实用新型具有结构简单,能直观看到测量结果,测量准确,操作方便的优点,解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 基板底厚 快速 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种石英基板底厚快速测量装置,其特征在于:包括底座(1)和与所述底座(1)固定连接的固定架(2),所述固定架(2)通过支架(7)固定连接有百分表(3),所述百分表(3)下端通过伸缩管(4)活动连接有测头(6),所述测头(6)正下方设有与底座(1)固定连接的支撑垫片(8),所述支撑垫片(8)上放置有待测石英基板(9)。
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