[实用新型]一种石英基板底厚快速测量装置有效
| 申请号： | 201520298019.9 | 申请日： | 2015-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN204594387U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 虞王君 | 申请（专利权）人： | 虞王君 |
| 主分类号： | G01B5/06 | 分类号： | G01B5/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311804 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 基板底厚 快速 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于：包括底座(1)和与所述底座(1)固定连接的固定架(2)，所述固定架(2)通过支架(7)固定连接有百分表(3)，所述百分表(3)下端通过伸缩管(4)活动连接有测头(6)，所述测头(6)正下方设有与底座(1)固定连接的支撑垫片(8)，所述支撑垫片(8)上放置有待测石英基板(9)。
2.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于：所述伸缩管(4)上固定连接有按压把手(5)。
3.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于：所述测头(6)为不锈钢测头。
4.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于：所述支撑垫片(8)与所述底座(1)通过两侧的锁紧螺丝固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于：所述待测石英基板(9)倒置放置。
6.根据权利要求1所述的一种石英基板底厚快速测量装置，其特征在于：所述待测石英基板(9)的宽度大于所述支撑垫片(8)的宽度。
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