[实用新型]一种石英基板底厚快速测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种厚度测量装置，具体涉及一种石英基板底厚快速测量装置。

背景技术

在使用基板的生产过程中，需要对石英基板的底厚进行测量确认，现有技术中通常采用测量石英基本凹槽深度，然后与石英基板直径相减得到基板厚度。但由于石英基板一般直径较小，测量难度大且测量的数值会出现偏差，测量部不准确。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型的目的是为了解决现有技术中的不足，提供一种操作方便，测量快速、准确的石英基板底厚快速测量装置。

技术方案：本实用新型所述的一种石英基板底厚快速测量装置，包括底座和与所述底座固定连接的固定架，所述固定架通过支架固定连接有百分表，所述百分表下端通过伸缩管活动连接有测头，所述测头正下方设有与底座固定连接的支撑垫片，所述支撑垫片上放置有待测石英基板。

作为优化，所述伸缩管上固定连接有按压把手。

作为优化，所述测头为不锈钢测头，且表面光滑平整。

作为优化，所述支撑垫片与所述底座通过两侧的锁紧螺丝固定连接。

作为优化，所述待测石英基板倒置放置。

作为优化，所述待测石英基板的宽度大于所述支撑垫片的宽度。

有益效果：本实用新型具有结构简单，能直观看到测量结果，测量准确，操作方便的优点，解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构主视图。

图2为本实用新型的结构俯视图。

图3为本实用新型的支撑垫片与待测石英基板结构放大图。

具体实施方式

如图1-3所示的一种石英基板底厚快速测量装置，包括底座1和与所述底座1固定连接的固定架2，固定架2通过支架7固定连接有百分表3，百分表3下端通过伸缩管4活动连接有测头6，测头6正下方设有与底座1固定连接的支撑垫片8，支撑垫片8上放置有待测石英基板9，其中伸缩管4上固定连接有按压把手5，测头6为不锈钢测头，支撑垫片8与所述底 座1通过两侧的锁紧螺丝固定连接，待测石英基板9倒置放置，待测石英基板9的宽度大于所述支撑垫片8的宽度。

本实用新型的测量过程为：根据石英基板的凹槽宽度选择合适宽度的支撑垫片，将垫片与底座固定，待测基板倒置放在垫片上，把百分比清零校正，下压把手时测头与基板表面接触，读出百分表读数，拿掉待测基板，测量垫片的高度，并读出百分表读数，最后将两个读数相减得出最后的基板底厚数值。

本实用新型具有结构简单，能直观看到测量结果，测量准确，操作方便的优点，解决了现有技术中单纯测量基板凹槽深度不方便的技术问题。