[实用新型]一种梯度折射率波导装置有效
申请号: | 201520130434.3 | 申请日: | 2015-03-06 |
公开(公告)号: | CN204631289U | 公开(公告)日: | 2015-09-09 |
发明(设计)人: | 罗伊;布兰特 | 申请(专利权)人: | 西安奇芯光电科技有限公司 |
主分类号: | G02B6/32 | 分类号: | G02B6/32;G02B3/00 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 张倩 |
地址: | 710304 陕西省西安市高新区草堂*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种梯度折射率波导装置,包括GRIN透镜以及包层,GRIN透镜包括衬底、波导层和至少两个GRIN层,最底层的GRIN层沉积在衬底上,波导层位于任意相邻的两个GRIN层之间,包层包裹在GRIN透镜外侧,由最顶层的GRIN层或最底层的GRIN层向波导层的折射率逐渐变大。本实用新型解决了现有的波导装置中的GRIN透镜无法进行逐层光刻和刻蚀,导致保真度下降,精度降低的技术问题,本实用新型的GRIN透镜是由PLC技术制作的,PLC技术的优点是可以将GRIN透镜中GRIN层和波导层集成在同一个芯片上,采用PLC技术的GRIN透镜具有单片集成,成本低、可靠性好的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 梯度 折射率 波导 装置 | ||
【主权项】:
一种梯度折射率波导装置,包括GRIN透镜以及包层,其特征在于:所述GRIN透镜包括衬底、波导层和至少两个GRIN层,最底层的GRIN层沉积在衬底上,所述波导层位于任意相邻的两个GRIN层之间,所述包层包裹在GRIN透镜外侧,由最顶层的GRIN层或最底层的GRIN层向波导层的折射率逐渐变大。
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