[实用新型]一种梯度折射率波导装置

权利要求书

1.一种梯度折射率波导装置，包括GRIN透镜以及包层，其特征在于：所述GRIN透镜包括衬底、波导层和至少两个GRIN层，最底层的GRIN层沉积在衬底上，所述波导层位于任意相邻的两个GRIN层之间，所述包层包裹在GRIN透镜外侧，由最顶层的GRIN层或最底层的GRIN层向波导层的折射率逐渐变大。

2.一种梯度折射率波导装置，包括GRIN透镜以及包层，其特征在于：所述GRIN透镜包括衬底、波导层和GRIN层，所述GRIN层沉积在衬底上，所述波导层沉积在GRIN层上，所述包层包裹在GRIN透镜外侧，所述波导层的折射率大于GRIN层的折射率。

3.根据权利要求1或2所述的梯度折射率波导装置，其特征在于：每个GRIN层包括至少两个GRIN子层，所述波导层包括至少两个波导子层。

4.根据权利要求3所述的梯度折射率波导装置，其特征在于：每个GRIN层中的每个GRIN子层的折射率相同或不相同，波导层中的每个波导子层的折射率相同或不相同。

5.根据权利要求4所述的梯度折射率波导装置，其特征在于：每个GRIN层中的每个GRIN子层的折射率随着与波导层之间距离的缩短而逐渐变大。

6.根据权利要求5所述的梯度折射率波导装置，其特征在于：所述GRIN层的长度或宽度随着与波导层之间距离的增长而逐渐变短。

7.根据权利要求1-6之任一所述的梯度折射率波导装置，其特征在于：所述的波导层和GRIN层的材料为氮氧化硅Silicon Oxynitride、碳氧化硅Silicon Oxycarbide、聚合物Polymers、掺杂的二氧化硅Doped glasses、旋涂的二氧化硅Spin on Glasses和铟镓砷磷合金Indium Gallium Arsenide Phosphide alloys中一种。