[实用新型]一种分子泵调试台有效
| 申请号： | 201520120377.0 | 申请日： | 2015-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN204646743U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 朱秀明;王燕;翟晓烨;施琦 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;陈亮 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种分子泵调试台，所述调试台由多个调试台单元组合，每个调试台单元均包括有机架、分子泵电源、真空计、控制面板以及排气系统，所述机架上放置两台待调试分子泵，所述分子泵电源、真空计及控制面板置于所述机架的后侧上方；所述排气系统的排气管引向所述机架的后侧，固定在后侧的梁上；每个调试台单元的排气系统连接到共同的前级机械泵上，且所述排气系统的排气管连接到总排气管道上。利用该分子泵调试台能够优化操作流程，节约调试成本，实现更安全和集中的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 调试 | ||
【主权项】：
一种分子泵调试台，其特征在于，所述调试台由多个调试台单元组合，每个调试台单元均包括有机架、分子泵电源、真空计、控制面板以及排气系统，其中：所述机架上放置两台待调试分子泵，所述分子泵电源、真空计及控制面板置于所述机架的后侧上方；所述排气系统的排气管引向所述机架的后侧，固定在后侧的梁上；每个调试台单元的排气系统连接到共同的前级机械泵上，且所述排气系统的排气管连接到总排气管道上。
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