[实用新型]一种分子泵调试台

说明书

技术领域

本实用新型涉及分子泵技术领域，尤其涉及一种分子泵调试台。

背景技术

分子泵是一种用于获得高真空及超高真空的真空泵，具有清洁无油，抽速大，极限高，耗能少的优点。广泛应用于镀膜，电子显微镜，质谱仪，半导体及太阳能电池生产，单晶硅及蓝宝石炉等各种需要高真空的实验室及工业场合。

分子泵在装配完成后需要进行动平衡调试及研车试验，分子泵调试台就是为分子泵调试提供条件并提供一定安全保护的设备。现有技术中的分子泵调试台采用的是每台分子泵的调试位置配套独立的前级泵、管道及阀门的方式，不仅浪费资源，而且操作起来也比较繁琐。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种分子泵调试台,能够优化操作流程，节约调试成本，实现更安全和集中的控制。

一种分子泵调试台，所述调试台由多个调试台单元组合，每个调试台单元均包括有机架、分子泵电源、真空计、控制面板以及排气系统，其中：

所述机架上放置两台待调试分子泵，所述分子泵电源、真空计及控制面板置于所述机架的后侧上方；

所述排气系统的排气管引向所述机架的后侧，固定在后侧的梁上；

每个调试台单元的排气系统连接到共同的前级机械泵上，且所述排气系统的排气管连接到总排气管道上。

所述每个调试台单元中还包括有控制每台待调试分子泵的按钮，所述按钮置于所述机架最上方的横梁前侧，位于相应待调试分子泵的上方。

在所述每个调试台单元的待调试分子泵前后各设置有一个保护条，该保护条用螺钉固定在所述机架上。

所述保护条上设置有长槽孔，并在所述机架上开多个孔。

所述排气系统进一步包括U形管、波纹管、三通管、真空挡板阀和排气管，其中：

所述U形管的一端与所述待调试分子泵的排气口相连，另一端依次连接所述波纹管、三通管、真空挡板阀和排气管；

在所述三通管上安装有充气阀门，在所述排气管上安装有真空度测量点。

在所述前级机械泵和所述总排气管道之间加装有储气罐。

在所述每个调试台单元的机架两侧还安装有多角度调试架。

由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，利用该分子泵调试台能够优化操作流程，节约调试成本，实现更安全和集中的控制。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为本实用新型所提供的组成分子泵调试台的一个调试台单元的结构示意图；

图2为本实用新型实施例所述排气系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型的保护范围。

下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述，本实施例所述的分子泵调试台由多个调试台单元组合，如图1所示为组成分子泵调试台的一个调试台单元的结构示意图，每个调试台单元均包括有机架1、分子泵电源2、真空计3、控制面板4以及排气系统5，其中：

所述机架1上可放置两台待调试分子泵6，该待调试分子泵可置于前方台面上，将其置于一定高度是为了便于工人通过排气口调节分子泵转子下侧的动平衡；

所述分子泵电源2、真空计3及控制面板4置于所述机架1的后侧上方；

所述排气系统5的排气管引向所述机架1的后侧，固定在后侧的梁上；

每个调试台单元的排气系统5均连接到共同的前级机械泵上，且所述排气系统5的排气管连接到总排气管道上，通过将多个这样的调试台单元组合形成调试台，就可以实现对多台分子泵同时进行联动调试。

具体实现中，每个调试台单元中还包括有控制每台待调试分子泵的按钮7，所述按钮7置于所述机架1最上方的横梁前侧，位于相应待调试分子泵6的上方，既醒目又不容易因误碰而造成误操作。