[实用新型]一种分子泵调试台有效
| 申请号： | 201520120377.0 | 申请日： | 2015-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN204646743U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 朱秀明;王燕;翟晓烨;施琦 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;陈亮 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 调试 | ||
1.一种分子泵调试台，其特征在于，所述调试台由多个调试台单元组合，每个调试台单元均包括有机架、分子泵电源、真空计、控制面板以及排气系统，其中：
所述机架上放置两台待调试分子泵，所述分子泵电源、真空计及控制面板置于所述机架的后侧上方；
所述排气系统的排气管引向所述机架的后侧，固定在后侧的梁上；
每个调试台单元的排气系统连接到共同的前级机械泵上，且所述排气系统的排气管连接到总排气管道上。
2.根据权利要求1所述分子泵调试台，其特征在于，所述每个调试台单元中还包括有控制每台待调试分子泵的按钮，所述按钮置于所述机架最上方的横梁前侧，位于相应待调试分子泵的上方。
3.根据权利要求1所述分子泵调试台，其特征在于，在所述每个调试台单元的待调试分子泵前后各设置有一个保护条，该保护条用螺钉固定在所述机架上。
4.根据权利要求3所述分子泵调试台，其特征在于，
所述保护条上设置有长槽孔，并在所述机架上开多个孔。
5.根据权利要求1所述分子泵调试台，其特征在于，所述排气系统进一步包括U形管、波纹管、三通管、真空挡板阀和排气管，其中：
所述U形管的一端与所述待调试分子泵的排气口相连，另一端依次连接所述波纹管、三通管、真空挡板阀和排气管；
在所述三通管上安装有充气阀门，在所述排气管上安装有真空度测量点。
6.根据权利要求1所述分子泵调试台，其特征在于，
在所述前级机械泵和所述总排气管道之间加装有储气罐。
7.根据权利要求1所述分子泵调试台，其特征在于，
在所述每个调试台单元的机架两侧还安装有多角度调试架。
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