[实用新型]石墨舟定位装置有效
| 申请号: | 201520109366.2 | 申请日: | 2015-02-13 |
| 公开(公告)号: | CN204538000U | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
| 发明(设计)人: | 朱光;孟东方 | 申请(专利权)人: | 深圳光远智能装备股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 广东知恒律师事务所 44342 | 代理人: | 柴吉峰 |
| 地址: | 518101 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本实用新型公开了石墨舟定位装置,包括定位平台,基准定位机构,定位弹性定位机构,限位机构,弹性定位机构包括第一定位横杆、第一支撑基座及固定在第一支撑基座上的第一驱动装置、纵向弹簧、第一轨道,第一定位横杆由第一驱动装置驱动沿第一轨道前后滑动,纵向弹簧连接在第一支撑基座与第一定位横杆之间,基准定位机构设有第二定位横杆。由于本实用新型实施例采用一侧由提供可调的定位基准,另一侧依靠驱动装置和纵向弹簧形成一个弹性定位机构,在驱动装置停止驱动时,纵向弹簧可以压紧在石墨舟陶瓷杆的螺母上,减少对舟的损伤,而且整个装置不需传感器,实现柔性定位,成本低,结构易于实现。 | ||
| 搜索关键词: | 石墨 定位 装置 | ||
【主权项】:
石墨舟定位装置,包括一定位平台,其特征在于,定位平台的后侧设有基准定位机构,定位平台的前侧设有弹性定位机构,定位平台的左侧设有用于限制石墨舟继续向左运动的限位机构,基准定位机构和弹性定位机构在定位平台的右侧共同形成一用于运输石墨舟进入定位平台的入口,弹性定位机构包括用于抵住石墨舟前侧的第一定位横杆、第一支撑基座及固定在第一支撑基座上的沿定位平台前后方向设置的第一驱动装置、纵向弹簧、第一轨道,第一定位横杆由第一驱动装置驱动沿第一轨道前后滑动,纵向弹簧连接在第一支撑基座与第一定位横杆之间且对第一定位横杆施加后向的弹性力,基准定位机构设有用于抵住石墨舟后侧且可沿定位平台前后向调节位置的第二定位横杆。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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