[实用新型]石墨舟定位装置有效
| 申请号: | 201520109366.2 | 申请日: | 2015-02-13 |
| 公开(公告)号: | CN204538000U | 公开(公告)日: | 2015-08-05 |
| 发明(设计)人: | 朱光;孟东方 | 申请(专利权)人: | 深圳光远智能装备股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68 |
| 代理公司: | 广东知恒律师事务所 44342 | 代理人: | 柴吉峰 |
| 地址: | 518101 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 石墨 定位 装置 | ||
1.石墨舟定位装置,包括一定位平台,其特征在于,定位平台的后侧设有基准定位机构,定位平台的前侧设有弹性定位机构,定位平台的左侧设有用于限制石墨舟继续向左运动的限位机构,基准定位机构和弹性定位机构在定位平台的右侧共同形成一用于运输石墨舟进入定位平台的入口,弹性定位机构包括用于抵住石墨舟前侧的第一定位横杆、第一支撑基座及固定在第一支撑基座上的沿定位平台前后方向设置的第一驱动装置、纵向弹簧、第一轨道,第一定位横杆由第一驱动装置驱动沿第一轨道前后滑动,纵向弹簧连接在第一支撑基座与第一定位横杆之间且对第一定位横杆施加后向的弹性力,基准定位机构设有用于抵住石墨舟后侧且可沿定位平台前后向调节位置的第二定位横杆。
2.如权利要求1所述的石墨舟定位装置,其特征在于,第一定位横杆上固定有前后向设置的第一调节杆,第一调节杆上设有可在前后向上调节位置的第一挡块,纵向弹簧套设在该第一调节杆上,且纵向弹簧一端顶住第一定位横杆远离石墨舟的一侧,纵向弹簧的另一端顶住该第一挡块。
3.如权利要求1所述的石墨舟定位装置,其特征在于,所述限位机构包括左侧定位基座、横向弹簧、横向轨道及用于抵住石墨舟左侧的左侧定位横杆,左侧定位横杆通过横向轨道安装在左侧定位基座上,横向弹簧安装在左侧定位基座上且对左侧定位横杆施加向右的弹性力。
4.如权利要求3所述的石墨舟定位装置,其特征在于,所述左侧定位横杆的左侧设有一导向杆,左侧定位基座的上部设有一导向孔,导向杆穿过该导向孔形成所述横向轨道,横向弹簧套设在该导向杆上并共同穿过该导向孔,导向杆的末端设有可调挡块,横向弹簧的一端顶住左侧定位横杆的左侧,横向弹簧的另一端顶住该可调挡块。
5.如权利要求4所述的石墨舟定位装置,其特征在于,在左侧定位横杆与石墨舟相接触的一面设有用于减小石墨舟在左侧定位横杆上前后向摩擦的滚轮或滚球。
6.如权利要求4或5所述的石墨舟定位装置,其特征在于,在左侧定位横杆的左侧和左侧定位基座的右侧分别相对应地设有辅助导向孔和辅助导向柱。
7.如权利要求1至5中任意一项所述的石墨舟定位装置,其特征在于,基准定位机构还包括第二支撑基座及固定在第二支撑基座上的沿定位平台前后方向设置的第二驱动装置、第二轨道,第二定位横杆由第二驱动装置驱动沿第二轨道前后滑动。
8.如权利要求7所述的石墨舟定位装置,其特征在于,第二支撑基座上设有一安装孔,第二定位横杆上固定有一前后向设置的第二调节杆,该第二调节杆穿设在安装孔内并带动第二定位横杆在前后向上联动,第二调节杆尾端设有用于限制第二调节杆前后向运动距离且可在前后向调节位置的第二挡块。
9.如权利要求1所述的石墨舟定位装置,其特征在于,在定位平台的入口位置设置有用于将石墨舟输送至定位平台上的舟输送机构。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





