[实用新型]外延片清洗装置

摘要

本实用新型提供了一种外延片清洗装置，外延片清洗装置包括转动操作的清洗部分和转动操作的承载部分，清洗部分和承载部分固定在台板上，其中，清洗部分包括：喷头，喷头位于承载部分的上方；液体输送管，液体输送管具有进口端和出口端，出口端与喷头相连，轴承部，轴承部支承液体输送管；以及电机，电机设置在台板下方驱动液体输送管作往复摆动。采用根据本实用新型的清洗装置，外延片清洗装置可以高效地、全面地对经磨边处理的外延片进行清洗。

主权项

一种外延片清洗装置，所述外延片清洗装置包括转动操作的清洗部分和转动操作的承载部分，所述清洗部分和所述承载部分固定在台板上，其特征在于，所述清洗部分包括：喷头，所述喷头位于所述承载部分的上方；液体输送管，所述液体输送管具有进口端和出口端，所述出口端与所述喷头相连，轴承部，所述轴承部支承液体输送管；以及电机，所述电机设置在所述台板下方驱动所述液体输送管作往复摆动。