[实用新型]外延片清洗装置

权利要求书

1.一种外延片清洗装置，所述外延片清洗装置包括转动操作的清洗部分和转动操作的承载部分，所述清洗部分和所述承载部分固定在台板上，其特征在于，所述清洗部分包括：

喷头，所述喷头位于所述承载部分的上方；

液体输送管，所述液体输送管具有进口端和出口端，所述出口端与所述喷头相连，

轴承部，所述轴承部支承液体输送管；以及

电机，所述电机设置在所述台板下方驱动所述液体输送管作往复摆动。

2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述液体输送管的所述进口端位于台板下方。

3.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，液体输送管包括：

第一横管，所述第一横管的一端连接到所述喷头；

竖管，所述竖管垂直于所述第一横管并与所述第一横管流体联通；和

第二横管，所述第二横管位于所述台板下方并且流体联通地连接于所述竖管。

4.如权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述竖管包括空心段和实心段，所述空心段和所述实心段连续直线延伸，所述第一横管和所述第二横管均连接在所述竖管的所述空心段上，并且，所述实心段的一端连接所述空心段，所述实心段的另一端连接到所述电机。

5.如权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括输送干燥气体的气管，所述气管通过支架支承在所述第一横管上。

6.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述承载部分包括承载盘、转轴以及承载盘电机，所述转轴的一端与所述承载盘相连，所述转轴的另一端通过联轴器与承载盘电机相连，所述承载盘电机位于所述台板的下方，所述承载盘设有真空吸附装置，所述外延片通过所述真空吸附装置的真空吸附作用固定在所述承载盘上。

7.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述轴承部包括紧固在所述台板上的轴承座、在轴承座内部分别置于轴承座上下两端的上轴承和下轴承以及闭合轴承座的防水盖，所述液体输送管穿过防水盖并由所述上轴承和所述下轴承转动支承。

8.如权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述液体输送管上设有卡簧槽用以安装轴卡簧，所述轴承座的内壁上有两个卡簧槽分别用以安装第一孔卡簧和第二孔卡簧，所述轴卡簧和所述第一孔卡簧固定所述上轴承的轴向位置，所述第二孔卡簧和所述台板固定所述下轴承的轴向位置。

9.如权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述防水盖的外周设有突边，所述轴承座的上端设有台阶部，所述防水盖的所述突边与所述轴承座的所述台阶部相配合。

10.如权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述轴承座的与所述台板接触的底部设有密封圈槽，密封圈设置在所述密封圈槽中。