[实用新型]激光打标角度校正装置有效
| 申请号: | 201520039170.0 | 申请日: | 2015-01-20 |
| 公开(公告)号: | CN204506145U | 公开(公告)日: | 2015-07-29 |
| 发明(设计)人: | 邹武兵;张德安;禹刚;段家露;罗伟智;曾波 | 申请(专利权)人: | 深圳市韵腾激光科技有限公司 |
| 主分类号: | B41J2/435 | 分类号: | B41J2/435 |
| 代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 曾少丽 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了一种激光打标角度校正装置,用于对晶圆打标前进行角度校正,包括装置本体、设置于装置本体上的角度校正平台、与角度校正平台装配在一起的驱动结构组件,设置于角度校正平台上的对待打标的晶圆进行角度校正的CCD检测结构、设置于角度校正平台上的晶圆的数据信息进行比较的OCR检测结构,所述角度校正平台可相对于所述装置本体来回移动及圆周转动。该激光打标角度校正装置可以准确确定晶圆的角度位置,使得在对晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。 | ||
| 搜索关键词: | 激光 角度 校正 装置 | ||
【主权项】:
激光打标角度校正装置,用于对晶圆打标前进行角度校正,其特征在于:包括装置本体、设置于装置本体上的角度校正平台、与角度校正平台装配在一起的驱动结构组件,设置于角度校正平台上的对待打标的晶圆进行角度校正的CCD检测结构、设置于角度校正平台上的晶圆的数据信息进行比较的OCR检测结构,所述角度校正平台可相对于所述装置本体来回移动及圆周转动。
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