[实用新型]激光打标角度校正装置

权利要求书

1.激光打标角度校正装置，用于对晶圆打标前进行角度校正，其特征在于：包括装置本体、设置于装置本体上的角度校正平台、与角度校正平台装配在一起的驱动结构组件，设置于角度校正平台上的对待打标的晶圆进行角度校正的CCD检测结构、设置于角度校正平台上的晶圆的数据信息进行比较的OCR检测结构，所述角度校正平台可相对于所述装置本体来回移动及圆周转动。

2.根据权利要求1所述的激光打标角度校正装置，其特征在于：所述角度校正平台包括若干对称设置于校正平台左右两侧的用于支撑晶圆的支撑柱及设置于所述校正平台中部的用于旋转晶圆的旋转承座。

3.根据权利要求2所述的激光打标角度校正装置，其特征在于：所述驱动结构组件包括用于驱动所述旋转承座进行来回移动的直线电机、装设于直线电机上的移动台、滑轨、与所述滑轨装配在一起的滑块、与所述旋转承座装配在一赶的用于驱动所述旋转承座进行360度旋转的驱动电机，所述移动台与所述旋转承座装配在一起，所述驱动电机固定装设于所述移动台上部。