[实用新型]激光打标角度校正装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及激光标识技术领域，尤其涉及一种激光打标角度校正装置。

背景技术

随着晶圆的广泛使用，传统的晶圆标识的方法有：气动冲针、丝网印刷、机械压痕、喷墨打印、照相腐蚀、化学腐蚀等，这些加工方法都存在各种各样的不足与缺陷，缺乏激光打标角度校正装置，晶圆打标时的打标位置无法准确把握，打标出来的字不均匀，出现间隙与断隙，效率低下，现有技术已越来越不符合晶圆附加的加工要求。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种激光打标角度校正装置，该激光打标角度校正装置可以准确确定晶圆的角度位置，使得在对晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的激光打标角度校正装置，用于对晶圆打标前进行角度校正，包括装置本体、设置于装置本体上的角度校正平台、与角度校正平台装配在一起的驱动结构组件，设置于角度校正平台上的对待打标的晶圆进行角度校正的CCD检测结构、设置于角度校正平台上的晶圆的数据信息进行比较的OCR检测结构，所述角度校正平台可相对于所述装置本体来回移动及圆周转动。

优选地，所述角度校正平台包括若干对称设置于校正平台左右两侧的用于支撑晶圆的支撑柱及设置于所述校正平台中部的用于旋转晶圆的旋转承座。

优选地，所述驱动结构组件包括用于驱动所述旋转承座进行来回移动的直线电机、装设于直线电机上的移动台、滑轨、与所述滑轨装配在一起的滑块、与所述旋转承座装配在一赶的用于驱动所述旋转承座进行360度旋转的驱动电机，所述移动台与所述旋转承座装配在一起，所述驱动电机固定装设于所述移动台上部。

采用上述结构之后，首先将晶圆放置于旋转承座上，采用CCD检测结构对所述晶圆的角度进行检测，直线电机及驱动电机驱动所述晶圆进行角度调整，同时OCR检测结构对所述晶圆的数据信息进行比较，该激光打标角度校正装置可以准确确定晶圆的角度位置，使得在对晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。

附图说明

图1为本实用新型激光打标角度校正装置的结构示意图；

图2为本实用新型激光打标角度校正装置的立体透视图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

请参阅图1，图1为本实用新型激光打标角度校正装置的结构示意图；图2为本实用新型激光打标角度校正装置的立体透视图。

在本实施例中，激光打标角度校正装置10，用于对晶圆打标前进行角度校正，包括装置本体11、设置于装置本体上的角度校正平台12、与角度校正平台12装配在一起的驱动结构组件，设置于角度校正平台上的对待打标的晶圆进行角度校正的CCD检测结构13、设置于角度校正平台上的晶圆的数据信息进行比较的OCR检测结构14，角度校正平台12可相对于装置本体11来回移动及圆周转动。

角度校正平台12包括若干对称设置于校正平台左右两侧的用于支撑晶圆的支撑柱及设置于所述校正平台中部的用于旋转晶圆的旋转承座。

驱动结构组件包括用于驱动所述旋转承座进行来回移动的直线电机、装设于直线电机上的移动台、滑轨、与所述滑轨装配在一起的滑块、与所述旋转承座装配在一赶的用于驱动所述旋转承座进行360度旋转的驱动电机，所述移动台与所述旋转承座装配在一起，所述驱动电机固定装设于所述移动台上部。

采用上述结构之后，首先将晶圆放置于旋转承座上，采用CCD检测结构13对所述晶圆的角度进行检测，直线电机及驱动电机驱动所述晶圆进行角度调整，同时OCR检测结构14对所述晶圆的数据信息进行比较，该激光打标角度校正装置10可以准确确定晶圆的角度位置，使得在对晶圆打标过程中标记出来的字均匀、美观、无间隙与断隙。

应当理解的是，以上仅为本实用新型的优选实施例，不能因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。