[实用新型]一种射频加热系统上极板电压的测量装置有效
| 申请号： | 201520026301.1 | 申请日： | 2015-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN204462234U | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 王绍金;王昆;朱瀚昆 | 申请（专利权）人： | 西北农林科技大学 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 712100 陕西省杨*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种射频加热系统上极板电压的测量装置，包括电流表、铜板、元器件盒。所述电流表与元器件盒之间由屏蔽性较好的导线连接；所述元器件盒与射频加热系统上极板之间由刚性的铜板连接；所述元器件盒被固定在射频加热系统上极板上方的钢架结构上；所述电流表被置于射频加热腔的外部。本实用新型针对以往射频加热系统上极板电压获得方法操作比较复杂且精度较难保证的问题提供一种操作简单、实用性强、精度高的射频加热系统上极板电压的测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 加热 系统 极板 电压 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种射频加热系统上极板电压的测量装置，由电流表(2)、铜板(3)、元器件盒(4)构成，其特征在于：所述电流表(2)与元器件盒(4)之间由屏蔽性较好的导线连接；所述元器件盒(4)与射频加热系统上极板(1)之间由刚性的铜板(3)连接；所述元器件盒(4)被固定在射频加热系统上极板上方的钢架结构上；所述电流表(2)被置于射频加热腔的外部。
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