[实用新型]一种射频加热系统上极板电压的测量装置

权利要求书

1.一种射频加热系统上极板电压的测量装置，由电流表(2)、铜板(3)、元器件盒(4)构成，其特征在于：所述电流表(2)与元器件盒(4)之间由屏蔽性较好的导线连接；所述元器件盒(4)与射频加热系统上极板(1)之间由刚性的铜板(3)连接；所述元器件盒(4)被固定在射频加热系统上极板上方的钢架结构上；所述电流表(2)被置于射频加热腔的外部。

2.根据权利要求1所述的射频加热系统上极板电压的测量装置，其特征在于，铜板(3)为厚3mm，宽50mm的紫铜板。

3.根据权利要求1所述的射频加热系统上极板电压的测量装置，其特征在于，所述元器件盒(4)内有测量主要电路。

4.根据权利要求3所述的射频加热系统上极板电压的测量装置，其特征在于，所述测量主要电路包括4个电容，5个电阻和1个二极管；

所述电容C₁一端连接上极板，另一端与C₂串联，电容C₂另一端接地，电阻R₁和R₂串联之后与电容C₂并联；

所述二极管与电阻R₂并联，正极接地，负极接在串联的R₁和R₂之间，电容C₃与二极管并联，电阻R₃一端与二极管负极相连，另一端连接电阻R₄和电阻R₅之间，电阻R₄另一端接地，电阻R₅另一端连接电流表与电容C₄组成的的并联电路，电流表负极接地，电阻R₃和R₄串联后与电容C₃并联，电阻R₅与电容C₄串联后与电阻R₄并联，电流表正极接在C₄和R₅之间，负极接地。

5.根据权利要求4所述的射频加热系统上极板电压的测量装置，其特征在于，所述电容C₁容值是1pF，电容C₂容值是50pF，电容C₃和C₄容值是10,000pF；

所述电阻R₁和R₂阻值为50kΩ，电阻R₃、R₄和R₅阻值为3.3kΩ。